CTR100薄膜規(guī)基于熱傳導(dǎo)原理：

1、內(nèi)部有一個加熱的電阻絲（或薄膜）,，其溫度隨周圍氣體分子的熱傳導(dǎo)能力變化,。

2、在高壓（接近大氣壓）時,，氣體分子多,，熱傳導(dǎo)快，電阻絲溫度低,，電阻小,。

3、在低壓（高真空）時,，氣體分子少,，熱傳導(dǎo)慢，電阻絲溫度高,，電阻大,。

4、通過測量電阻變化，轉(zhuǎn)換為壓力讀數(shù),。

主要特點：

1,、量程范圍：典型范圍 10^-3 Pa ~ 10^5 Pa（部分型號可能略有不同）。

2,、快速響應(yīng)：適合動態(tài)真空系統(tǒng)監(jiān)測,。

3、無油污染：與電容式薄膜規(guī)不同,，Pirani規(guī)不依賴油介質(zhì),，適合潔凈環(huán)境。

4,、溫度補償：部分型號帶有溫度補償功能,，減少環(huán)境溫度影響。

5,、耐用性：薄膜或鎢絲結(jié)構(gòu),，抗污染能力較強。

CTR100薄膜規(guī)應(yīng)用：

1,、真空鍍膜,、半導(dǎo)體設(shè)備

2、真空干燥,、冷凍干燥

3,、科研實驗室真空系統(tǒng)

4、工業(yè)真空泵監(jiān)控

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