HORIBA堀場高準確性橢偏儀

UVISEL 2 VUV專為VUV 測量設計,，整個系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無氧氣吸收,。具備高準確性,；超快測量速度；快速樣品室抽真空能力,，方便快速更換樣品,；氮氣消耗量少。光譜范圍可覆蓋147-2100nm,。

HORIBA堀場高準確性橢偏儀UVISEL 2 VUV能夠在充氮氣或抽真空模型下工作,。整個機械設計經(jīng)過優(yōu)化，氮氣消耗量低至6L/min,，載樣速度快,，2分鐘內即可完成。真空樣品倉門朝向操作人員更便于樣品裝載。

UVISEL 2 VUV在VUV波段具有高靈敏度,，它集成了大功率雙光源,、高通量光學系統(tǒng)以及CaF2光彈調制晶體和兩個時髦的單色儀。從147nm到850nm,，樣品測量時間少于8分鐘,，具有良好的信噪比。

UVISEL 2 VUV通過顯著減少氮氣消耗量,、吹掃及測試時間,，改變了VUV橢偏儀的世界。

DeltaPsi2軟件提供了從測試到建模分析,，輸出報告，以及自動操作的全部功能控制,，用戶界面直觀,、友好，非常適用于科研及工業(yè)客戶使用,。

UVISEL 2 VUV測試速度快,、運行成本低，使其成為分析147nm到2100nm波段薄膜的理想工具,。UVISEL 2 VUV橢偏儀可以定制化和自動化,。

• 載樣速度快

• 吹掃速度快

• 氮氣消耗少

• 測試速度快

• 兩種操作模式可選：氮氣保護或抽真空

各類日系工業(yè)品:,SSD西西蒂(離子風扇)、AND愛安得（電子天平）,、SAN-EI三英(點膠閥） HOYA光源,KURABO脫泡機,USHIO牛尾照度計,Tsubosaka壺坂電機,IMV愛睦威,PISCO匹士克接頭,hakko八光電機,lambda拉姆達膜厚儀,MUSASHI武藏,SAKURAI櫻井,aitec艾泰克,otsuka大塚（膜厚儀,、粒度儀）,Hitachi日立（掃描電鏡）,MIKASA米卡薩（旋涂設備、顯影）,、POLARION普拉瑞,、AITEC艾泰克（檢查光源）、Iwasaki巖崎,、OTSUKA大塚電子（光學膜厚儀）,、KOSAKA小坂（臺階儀）、HORIBA堀場儀器（分析儀）,、SIBATA柴田科學（環(huán)境測定）,、TORAY東麗濃度儀（氧氣分析儀）、yamada山田鹵素強光燈,、CEDAR思達