•整機(jī)外形尺寸:約380mmL*300mmW*320mm H,重量:約10 kg；

•雙探針座平臺(tái)鍍鏢設(shè)計(jì),，提高了針座平臺(tái)和針座之間的吸附力,；

• ChJKZC-UCk XY微分頭設(shè)計(jì)，行程25mm*25mm,精度2um,；

• ChJKZC-UCk大?。?英寸，中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品,均獨(dú)立控制,；

•卡盤(pán)電學(xué)獨(dú)立懸空,，帶4mm香蕉頭插口,可以作為背電極使用；

-臺(tái)體底板帶高性能防震海綿,，可一定程度減小外界震動(dòng)對(duì)測(cè)試的干擾;

•整機(jī)人體工程學(xué)設(shè)計(jì),，操作簡(jiǎn)單，使用便捷,。

(2)倒裝手動(dòng)測(cè)試夾具

-可給樣品加載DC或者RF信號(hào),；

•樣品可在0~180度任意角度內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)并固定；

-具備微調(diào)功能,，精度0.1度,；

•玻璃樣品載臺(tái)，高透光性,；

•可無(wú)磁化設(shè)計(jì),，在光學(xué),電磁等環(huán)境中運(yùn)用較為廣。

(3)光電流測(cè)試顯微鏡

-可在原有光路基礎(chǔ)上可以導(dǎo)入另一路光源,，用于輻照樣品以測(cè)試樣品在特定波長(zhǎng)及能量下電學(xué)性能,；

-顯微鏡設(shè)計(jì)為雙光路或3光路,，其中一路為導(dǎo)入光通路，另一到兩路為成像光路導(dǎo)入光為平行的激光或其它線性光源 ,波長(zhǎng)范圍200nm~20000nm,中間可加入多個(gè)波片過(guò)濾,起偏及偏振角度無(wú)級(jí)360度調(diào)節(jié),。光斑輻照直徑有650nm紅光 指示,。所有模塊均可拉出設(shè)計(jì)，對(duì)導(dǎo)入光性質(zhì)無(wú)影響,；

-導(dǎo)入光光路可選擇光時(shí)間開(kāi)關(guān),精確控制導(dǎo)入光的輻照時(shí)間,，精度1ms,范圍2ms~oo,在控制界面上可對(duì)各種參數(shù)進(jìn) 行詳細(xì)設(shè)置，成像光路為同軸照明金相成像,，其中一路為1倍成像,，可選擇第2路成像，為物鏡的0.25-10倍率,，通常在高 低溫測(cè)試系統(tǒng)里會(huì)用到,，同一個(gè)物鏡不切換，得到兩個(gè)不同視野的成像,。

(4）TEC制冷卡盤(pán)

•釆用TEC制冷,，無(wú)需液氮，使用方便,；

可給樣品提供不同溫度環(huán)境,；

-樣品臺(tái)大小可選，防干擾設(shè)計(jì),，具備良好的接地性能;

•溫度范圍:負(fù)45°C~150°C,溫度分辨率：0.1°C,

溫度穩(wěn)定性：土 0.3°C,；

•樣品臺(tái)微調(diào)升降，行程O(píng)-lOmm,精度10um_o

(5)磁場(chǎng)探針臺(tái)(無(wú)磁設(shè)計(jì))

•在探針臺(tái)的基礎(chǔ)上,，可加載三維磁場(chǎng),，多維磁場(chǎng)，磁場(chǎng)強(qiáng)度,，精度和間隙均可調(diào)整;

-高剛性結(jié)構(gòu),，所有零配件均采用無(wú)磁化材料；

-可加載高低溫,，可同時(shí)進(jìn)行DC和RF測(cè)試,；

-可以旋轉(zhuǎn)，可客制化,。

⑹110g以上高頻測(cè)試探針臺(tái)

-可配合市場(chǎng)主流擴(kuò)頻模塊進(jìn)行超高頻測(cè)試,；

•大行程高精度探針座,X-Y-Z-Theta四軸控制；

-顯微鏡可以在2英寸*2英寸*2英寸范圍內(nèi)移動(dòng),擴(kuò)大了顯微鏡視場(chǎng),；

-兼容直流與高頻信號(hào),；

-可以定制,可升級(jí)性強(qiáng)；

-最大可以測(cè)試12英寸樣品,探針臺(tái)chJKZC-UCk具備升降功能，便于樣品和 探針的快速分離,。

(7)自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)

-自動(dòng)探針測(cè)試系統(tǒng),，可以與半?yún)ⅲW(wǎng)分聯(lián)動(dòng),；

-電動(dòng)二維平臺(tái),，可手動(dòng)和電動(dòng)操作；

• ChJKZC-UCk XY軸運(yùn)動(dòng)行程100*100mm,復(fù)定位精度＜±lum,；

• X-Y軸驅(qū)動(dòng):電機(jī)+絲桿+光柵尺,；

-探針/光纖探針XYZ軸電動(dòng)模塊30*30*30mm,復(fù)定位精度W ±lum；

-X-Y-Z軸驅(qū)動(dòng):電機(jī)+絲桿+光柵尺,。

(8)可升降平臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào)：

T-station

產(chǎn)品參數(shù)：

-尺寸和重量定制,；

-單個(gè)探針座平臺(tái)最多可同時(shí)放置3個(gè)探針座；

-探針座平臺(tái)表面鍍鏢,，增大與探針座之間的吸附力;

-隱匿螺紋固定于標(biāo)準(zhǔn)蜂窩板,，美觀，并且方便拆卸,；

-平臺(tái)可升降,，升降高度和精度可定制；

-可配合光電流顯微鏡使用,。

(9)高精度納米探針座

產(chǎn)品型號(hào)：

JKZC-DCH-20nm

產(chǎn)品參數(shù)：

-X軸分辨率：20nm,行程30um (旋鈕控制盒)；

-YZ軸分辨率：10um,行程+-6.5mm,；

-釆用高精度壓電陶瓷設(shè)計(jì),，可以固定步距撥動(dòng)樣品或者納米線。

(10)毫米級(jí)手持式探針夾具

I產(chǎn)品型號(hào)

JKZC-DCH

I產(chǎn)品參數(shù)

•整體尺寸:20*20*180mm;

-萬(wàn)向調(diào)節(jié)旋鈕,，方向可調(diào),，松緊可調(diào)；

磁吸底座,，直徑20mm;

•兼容彈簧針和晶圓針,；

-Cable接頭可定制三軸，同軸或者其它,。

(11) FA失效分析探針臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào)

FA

I產(chǎn)品參數(shù)

•探針臺(tái)系統(tǒng)可以選用：4~12英寸JKZC-DN系列探針臺(tái),。

•激光系統(tǒng)可以選用美國(guó)ESI三波段激光器或者法國(guó) quantel激光器

•美國(guó)ESI (NEWWAVE)激光器參數(shù)

鐳射波長(zhǎng)1064和532nm和355nm

輸出功率2.2mJ/pulse

擊打頻率lHz~50Hz

可加工的材質(zhì):Copper/Gold/Poly Silicon/Alu minum/Silicon Dixoide等

最小加工尺寸1微米(使用100X物鏡)

最大加工尺寸40微米(使用50X物鏡)

搭配產(chǎn)品/半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

我們經(jīng)過(guò)近10年的發(fā)展,在測(cè)試儀器與探針臺(tái)的搭配方面具備十分 豐富的經(jīng)驗(yàn)。半導(dǎo)體參數(shù)分析儀方面,，我們和是德科技(Keysight),、 泰克(Tektronix)、概倫電子(PRIMARIUS)等公司的半導(dǎo)體參數(shù) 分析儀有過(guò)多次搭配經(jīng)驗(yàn),，系列型號(hào)有Keysight B1500A,、Keith ley 4200A-SCS、PRIMARIUS FS-Pro等,并為用戶提供半導(dǎo)體參數(shù)分析 儀與探針臺(tái)集成測(cè)試方案和服務(wù),。

搭配產(chǎn)品/矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀

依靠與儀器設(shè)備廠商和設(shè)備集成經(jīng)銷商所保持良好的合作關(guān)系,，我司 可為用戶提供是德科技(Keysight),、中電思儀(Ceyear)等公司的 網(wǎng)絡(luò)分析儀和模塊，有 Keysight E5063A/E5072A/E5061B/E5080B ENA,、Keysight(N522x/3x/4xB) PNA,、Keysight N5290A/ N5291A、 Ceyear 3762A/B/C-S,、Ceyear 3671C/D/E 等,各系列型號(hào)的矢量網(wǎng)絡(luò) 分析儀和毫米波網(wǎng)絡(luò)分析儀,，涵蓋不同測(cè)量頻率范圍、性能和功能,，并 為用戶提供網(wǎng)絡(luò)分析儀與探針臺(tái)集成測(cè)試方案和服務(wù),具備豐富的測(cè) 試經(jīng)驗(yàn),。

搭配產(chǎn)品/其他類型源表

在其它類型源表方面，比如tek 2450, tek 2600, keysight 2900,普賽斯 S300,鐵電分析儀,，各類示波器,，各類電源，頻譜儀等等都有多年的搭 配經(jīng)驗(yàn),。