KOFLOC科賦樂(lè) 超音波流量計(jì)

KOFLOC科賦樂(lè) 超音波流量計(jì)

接液部分采用NewPFA,，清潔型結(jié)構(gòu)
直線型流路,，避免不必要的壓力損失，且易于維護(hù)
小型輕巧,、設(shè)計(jì)精巧
集顯示器于一體,，只需接通DC24V電源即可測(cè)定流量
可測(cè)定高粘度液體

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

熱式技術(shù)（氣體）：

基于熱擴(kuò)散原理，直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量（無(wú)需溫壓補(bǔ)償）,。

低流量靈敏度：可檢測(cè)0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）,。

壓差式技術(shù)（液體）：

通過(guò)層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號(hào),。

耐腐蝕設(shè)計(jì)：接液部分可選316L不銹鋼,、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。

智能功能：

數(shù)字通信（RS-485,、Modbus,、DeviceNet）。

自診斷報(bào)警（流量超限,、傳感器異常）,。

典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造

案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量穩(wěn)定性±0.5%,，響應(yīng)時(shí)間＜1秒,。

配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認(rèn)證（Ex d IIC T6）。

光伏產(chǎn)業(yè)

案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）,。

挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆,，需杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn)。

方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動(dòng)切斷功能,。

化工流程

案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）,。

材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。