KOFLOC科賦樂 背壓閥

KOFLOC科賦樂 背壓閥

便于安裝的面板裝配型
小型緊湊設(shè)計
可以高速調(diào)節(jié)一次側(cè)壓力
清潔結(jié)構(gòu)
這是一種綠色無油閥,，可在純凈狀態(tài)下進(jìn)**體控制。

用途
控制水槽壓力
控制混合氣體的恒定流量

技術(shù)優(yōu)勢

熱式技術(shù)（氣體）：

基于熱擴(kuò)散原理,，直接測量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補(bǔ)償）,。

低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。

壓差式技術(shù)（液體）：

通過層流元件產(chǎn)生壓差,，線性輸出流量信號,。

耐腐蝕設(shè)計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì),。

智能功能：

數(shù)字通信（RS-485,、Modbus、DeviceNet）,。

自診斷報警（流量超限,、傳感器異常）。

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造

案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）,。

要求：流量穩(wěn)定性±0.5%,，響應(yīng)時間＜1秒。

配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認(rèn)證（Ex d IIC T6）,。

光伏產(chǎn)業(yè)

案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）,。

挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風(fēng)險,。

方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動切斷功能,。

化工流程

案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。

材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封