KOFLOC科賦樂 簡易針閥流量控制器

KOFLOC科賦樂 簡易針閥流量控制器

面板固定迷你型

體積小,，節(jié)省空間，可固定在面板上,，因此適合用于儀表板,。

氣體,、液體中均可使用

精密加工產品

所有精密加工零件均被清洗過，您可以放心使用,，不用擔心污漬,。

用途

用于流量計、壓力表專用針閥 用于公害測量儀器,、分析儀

用于調節(jié)實驗室中的氣體,、液體流量

用于儀表板

用于采樣系統(tǒng)

技術優(yōu)勢

熱式技術（氣體）：

基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）,。

低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）,。

壓差式技術（液體）：

通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號,。

耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼,、哈氏合金或PEEK材質。

智能功能：

數字通信（RS-485,、Modbus,、DeviceNet）。

自診斷報警（流量超限,、傳感器異常）。

典型應用場景

半導體制造

案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）,。

要求：流量穩(wěn)定性±0.5%,，響應時間＜1秒。

配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）,。

光伏產業(yè)

案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）,。

挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險,。

方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能,。

化工流程

案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。

材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封