化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>工業(yè)在線及過程控制儀>流量計(jì)流速儀/測漏儀>質(zhì)量流量計(jì)>SEC-Z524MGX HORIBA高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
SEC-Z524MGX HORIBA高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
| 參考價 | ￥ 18000 |
| 訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 曦源科學(xué)儀器（上海）有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場
- 型號 SEC-Z524MGX
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/5/23 9:39:15
- 訪問次數(shù) 141
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 1萬-3萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,綜合 |
SEC-Z524MGX HORIBA高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品概述
SEC-Z524MGX 是HORIBA高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（MFC）,，隸屬于 SEC-Z500X 系列，專為半導(dǎo)體制造,、精密化工和高純氣體工藝控制而設(shè)計(jì),。其具備多氣體、多量程配置功能,，支持 DeviceNet 通信協(xié)議,，適配各種工業(yè)自動化控制系統(tǒng)。
主要特點(diǎn)
多氣體/多量程配置：支持通過軟件快速切換氣體類型與流量范圍,，簡化庫存管理,，降低成本。
高精度控制：在全量程范圍內(nèi)提供 ±1% 設(shè)定值 或 ±0.25% 滿量程的控制精度,。
快速響應(yīng)：<1 秒的響應(yīng)時間,，有效提高工藝控制效率。
金屬密封結(jié)構(gòu)：全不銹鋼氣體接觸部分,，確保氣體純度，滿足高潔凈度應(yīng)用的要求,。
靈活通信接口：內(nèi)建 DeviceNet 通訊,，部分版本支持模擬信號與 EtherCAT®，便于集成至不同的控制系統(tǒng)中,。
結(jié)構(gòu)緊湊,，安裝靈活：C-Seal 安裝接口，適配各類設(shè)備集成,。
技術(shù)參數(shù)
型號：SEC-Z524MGX
流量范圍：支持多種滿量程設(shè)置,，常見如 10 SLM,、30 SLM、50 SLM 等,，可通過專用軟件進(jìn)行現(xiàn)場更改,。
適用氣體：支持多氣體配置，常見如氮?dú)猓∟?）,、氧氣（O?）,、氬氣（Ar）、硅烷（SiH?）等,，用戶可根據(jù)需求更改氣體類型,。
控制精度：±1.0% 設(shè)定點(diǎn)（S.P.）或 ±0.25% 滿量程（F.S.），兩者取其較大值,。
響應(yīng)時間：≤1 秒（全量程范圍內(nèi)）,。
閥類型：壓電陶瓷閥，常閉型（Normally Closed）,。
密封材料：金屬密封（如 C-Seal）,。
通信接口：支持 DeviceNet™，部分型號還支持模擬信號和 EtherCAT® 通信,。
電源要求：DC 24V,，功耗約 4.0 VA。
氣體接觸部件材料：SUS 316L 不銹鋼,，適用于高純度氣體控制,。
工作環(huán)境：建議溫度范圍為 5～50℃，推薦 15～45℃,，環(huán)境應(yīng)潔凈干燥以確?？刂凭群蛪勖?/p>
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體光刻/刻蝕/沉積氣體控制
精細(xì)化工過程流量管理
光電器件生產(chǎn)
實(shí)驗(yàn)室高純氣體流量監(jiān)測與控制
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