KOFLOC科賦樂(lè) 浮子流量計(jì)

KOFLOC科賦樂(lè) 浮子流量計(jì)

所有產(chǎn)品均使用氦氣檢漏儀進(jìn)行泄漏檢測(cè),，因此具有高度可靠的泄漏檢測(cè)能力。

因?yàn)槭遣y管密封型裝置,，不存在針閥軸泄漏的可能性,。

流體接觸部分的材料只使用SUS316、氟樹(shù)脂,、氟橡膠和硬質(zhì)玻璃,，因此具有優(yōu)異的耐腐蝕性

具有高精度再現(xiàn)性和穩(wěn)定性的流量計(jì)，由采用精密模塑的三氟甲磺酸酯,、肋導(dǎo)向流量計(jì)管和超精密球組成,，裝設(shè)有流暢流量特性的精密針閥。

用途

用于真空設(shè)備

用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

熱式技術(shù)（氣體）：

基于熱擴(kuò)散原理,，直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量（無(wú)需溫壓補(bǔ)償）,。

低流量靈敏度：可檢測(cè)0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。

壓差式技術(shù)（液體）：

通過(guò)層流元件產(chǎn)生壓差,，線性輸出流量信號(hào),。

耐腐蝕設(shè)計(jì)：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì),。

智能功能：

數(shù)字通信（RS-485,、Modbus、DeviceNet）,。

自診斷報(bào)警（流量超限,、傳感器異常）。

典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造

案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）,。

要求：流量穩(wěn)定性±0.5%,，響應(yīng)時(shí)間＜1秒。

配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認(rèn)證（Ex d IIC T6）,。

光伏產(chǎn)業(yè)

案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）,。

挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆,，需杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn)。

方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動(dòng)切斷功能,。

化工流程

案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）,。

材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。