化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>工業(yè)在線及過(guò)程控制儀>流量計(jì)流速儀/測(cè)漏儀>其它流量計(jì)流速儀>3100 KOFLOC科賦樂(lè) 質(zhì)量流量計(jì)
3100 KOFLOC科賦樂(lè) 質(zhì)量流量計(jì)
| 參考價(jià) | ￥ 8650 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 高斯摩(成都)國(guó)際貿(mào)易有限公司
- 品牌 KOFLOC/科賦樂(lè)
- 型號(hào) 3100
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/5/21 9:35:05
- 訪問(wèn)次數(shù) 20
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主要經(jīng)營(yíng)光學(xué)設(shè)備,、電子計(jì)測(cè)、科學(xué)儀器,、機(jī)械加工設(shè)備,、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、PC周邊用品,、作業(yè)工具用品,、電源、化學(xué)用品,、FA自動(dòng)化上萬(wàn)種產(chǎn)品的銷售,。
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬(wàn) | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂(lè) 質(zhì)量流量計(jì)
KOFLOC科賦樂(lè) 質(zhì)量流量計(jì)
MODEL 3100系列是基于MODEL 3200系列開發(fā)的用于高精度流量測(cè)量的新型質(zhì)量流量計(jì)。
這種高級(jí)型號(hào)采用新型低壓力毛細(xì)管流量傳感器,，可確保高速響應(yīng)和長(zhǎng)期穩(wěn)定性,。
配備溫度跟蹤式電流差檢測(cè)型流量傳感器，實(shí)現(xiàn)高精度,，高速響應(yīng)
F.S.1 SCCM微流量支持（SR選項(xiàng)）
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
熱式技術(shù)（氣體）：
基于熱擴(kuò)散原理,，直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量（無(wú)需溫壓補(bǔ)償）。
低流量靈敏度：可檢測(cè)0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）,。
壓差式技術(shù)（液體）：
通過(guò)層流元件產(chǎn)生壓差,，線性輸出流量信號(hào)。
耐腐蝕設(shè)計(jì)：接液部分可選316L不銹鋼,、哈氏合金或PEEK材質(zhì),。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus,、DeviceNet）,。
自診斷報(bào)警（流量超限、傳感器異常）,。
典型應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）,。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%,，響應(yīng)時(shí)間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認(rèn)證（Ex d IIC T6）,。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）,。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn),。
方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動(dòng)切斷功能,。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封,。
| 流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（可選） |
|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 |
| 響應(yīng)速度 | 1秒內(nèi) |
| 準(zhǔn)確性 | ±1％FS（15~35°C） |
| 再現(xiàn)性 | 在±0.2％FS（20°C）內(nèi) |
| 耐壓 | 980kPa（G） |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 |
| 允許周圍溫度 | 0~50℃ |
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無(wú)結(jié)露） |
| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L |
| 密封材料FKM（選件CR或NBR或Kallets） | |
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)） |
| 流量輸出信號(hào) | 0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上） |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA -15 VDC（±5％）100 mA |
| 接頭 （體型） | 標(biāo)準(zhǔn)1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 選項(xiàng)1/8 F900,1 / 4 UJR,，Rc1 / 4等 |
| 重量 | 約800g |
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