3200 KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
| 參考價 | ￥ 8200 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司
- 品牌 KOFLOC/科賦樂
- 型號 3200
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/5/21 9:07:46
- 訪問次數(shù) 23
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主要經(jīng)營光學設備,、電子計測、科學儀器,、機械加工設備,、環(huán)境試驗設備、PC周邊用品,、作業(yè)工具用品,、電源、化學用品,、FA自動化上萬種產(chǎn)品的銷售,。
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 5千-1萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
MODEL 3200系列是新型質(zhì)量流量控制器，是3910系列的后續(xù)產(chǎn)品,，已在半導體,，液晶，燃燒,，分析和生物等廣泛領域得到驗證,。
它是一種適用于新Cofflock標準的高性能型號。
配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器,，實現(xiàn)高精度,，高速響應采用常閉閥門，方向操作安全采用隔膜閥,，減少死體積
F.1. SCCM分鐘流量支持（SR選項）
低壓差兼容燃氣控制（LP選項）
技術優(yōu)勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理,，直接測量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）,。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產(chǎn)生壓差,，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼,、哈氏合金或PEEK材質(zhì),。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus,、DeviceNet）,。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）,。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）,。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%,，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）,。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）,。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險,。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能,。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封,。
| 流量范圍 （N2轉換20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（任意條件選擇） | |
|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
| 閥門方法 | 比例螺線管閥門（未通電時關閉） | |
| 控制范圍 | 2~100％（F.S.） | |
| 響應速度 | 1秒內(nèi)（±2％FS內(nèi)） | |
| 準確性 | ±1％FS（15~35°C） | |
| 再現(xiàn)性 | ±0.2%F.S. | |
| 操作壓差范圍 | F.S.≤5SLM 50. 300 kPa（G） | |
| F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa（G） | ||
| 選項：低壓差規(guī)格（LP）可根據(jù)條件制造 | ||
| 可工作壓力 | 300kPa（G）以下 | |
| 耐壓 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | |
| 允許周圍溫度 | 0~50℃ | |
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無結露） | |
| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L | |
| 隔膜SUS316 | ||
| 閥座PTFE | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準） | |
| 流量設定 輸入信號 | 0~5VDC （輸入阻抗1MΩ以上） | |
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（外部負載電阻250kΩ以上） | |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA,，-15 VDC（±5％）200 mA | |
| 配件（車身尺寸） | 標準1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 選項1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 | |
| 重量 | 約1000g | |
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