激光光譜共聚焦顯微鏡

KathMatic KC系列激光光譜共聚焦顯微鏡是一款亞微米級(jí)檢測(cè)儀器,，廣泛應(yīng)用于微小結(jié)構(gòu)及特殊材料的表面掃描與測(cè)量。,，測(cè)量模塊采用光譜共焦技術(shù),，可非接觸、高精度地測(cè)量各類材質(zhì) 的高度信息,。結(jié)合反饋控制的XY掃描模塊及三維成像算法,，獲得 精細(xì)的表面微觀結(jié)構(gòu)。 在功能豐富的圖形后處理模塊中,，還可靈活地進(jìn)行圖像處理,，并執(zhí)行平面、輪廓,、平均臺(tái)階,、點(diǎn)高度、峰谷,、體積,、面積,、粗糙度等測(cè)量功能，在半導(dǎo)體,、消費(fèi)電子,、 鋰電池、新材料開發(fā),、光學(xué)器件制造,、機(jī)械加工等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

掃描范圍：可測(cè)量樣品尺寸可達(dá)350mm×300mm

超高的測(cè)量精度：Z軸分辨率可達(dá)2nm

超快的掃描速度：高精密電動(dòng)位移臺(tái)運(yùn)動(dòng)速度50mm/s,，可快速進(jìn)行線輪廓分析

超豐富的分析功能：軟件自帶圖像處理分析功能,，可進(jìn)行輪廓分析、平面分析,、體 積分析,、粗糙度分析、統(tǒng)計(jì)分析等數(shù)據(jù)分析工作

超簡(jiǎn)單的設(shè)備操作：樣品無需前處理,，軟件自帶操作導(dǎo)航,，交互界面清晰易懂，稍 加學(xué)習(xí)即可進(jìn)行專業(yè)測(cè)量

材質(zhì)適應(yīng)性：所有材質(zhì)均可測(cè)量,，樣品反射率幾乎不影響測(cè)量,，表面斜率 適應(yīng)性高達(dá)±45°