應用領域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),制藥/生物制藥,綜合 |
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真空高低溫探針臺
A.配置清單:真空腔體x1,、三維探針座x4、三同軸探針夾具x4,、探針x10,、高低溫樣品臺x1、溫度控制器x1,、液氮控制器x1,、溫控軟件x1、液氮杜瓦瓶x1
B.具體配置參數(shù):
1)方形樣品臺尺寸25mmX25mm,,樣品臺表面防滑,,背柵電極測試接口
2)方形氧化鋁陶瓷絕緣片25mmX25mm
3)真空腔體長400mmX寬400mmX高100mm,,真空腔蓋子配4個快擰接頭
4)方形石英視窗尺寸φ30mm
5)真空度10-3 mbar
6)PID 精密算法 程控液氮泵溫控器,,溫控范圍:-193℃~+400℃,溫度穩(wěn)定度±0.5℃
7)樣品固定方式:彈片壓持
8)內(nèi)置真空探針座4 個,,點測定位精度1.4μm,,探針XYZ微調(diào)移動行程12mmX12mmX12mm,三同軸探針夾具電纜,,漏電精度<100fA
9)高純度固體鎢針10 根
10)定制液氮管路,,液氮杜瓦瓶20L
11)抽真空閥門和接口,充放氣接口,,預留接口