HR300 原廠進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵
| 參考價(jià) | ￥ 33290 |
| 訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱 玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) HR300
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/5/30 9:25:26
- 訪問次數(shù) 55
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真空機(jī),、離心機(jī):監(jiān)調(diào)儀;真空系統(tǒng),除塵裝量:數(shù)字粉塵儀;環(huán)境監(jiān)測設(shè)備,環(huán)境測量設(shè)備環(huán)境、檢測設(shè)備
| 泵軸位置 | 邊立式 | 輸送介質(zhì) | 污水泵,、雜質(zhì)泵 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 多級(jí) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電氣,綜合 |
原廠進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵
原廠進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵
通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化,，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵,。
特點(diǎn)
高溫區(qū)域均熱化
實(shí)現(xiàn)將CVD,、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
“Model:UR”可比“Model:HR”更加高溫化
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu),，非常安全,。
瞬停對(duì)策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高,、高耐腐蝕性的特殊表面處理,。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù),、警告/報(bào)警履歷,。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控,。
用途
CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD,、ALH 等
規(guī)格
| 型號(hào) | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | |||||||
| 使用泵 | 干式真空泵 | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | ||||||
| 機(jī)械增壓泵 | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||
| 最大 排氣速度 | 50Hz | m3/h (L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 359(5,980) | 653(10,900) | 1,012(16,900) | |||||
| 60Hz | m3/h (L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701(11,700) | 1,051(17,500) | ||||||
| 到達(dá)壓力 | Pa | 5 | 0.67 | |||||||||
| 最大排氣壓力 （吸入圧力） | 大氣壓 *1 | |||||||||||
| 最大排氣壓力 （吸入圧力） | Pa | 1~ 大氣壓 | ||||||||||
| 吸氣口 (CE規(guī)格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG80(KF80) | VG100(KF100) | ||||||||
| 排氣口 | KF40 | |||||||||||
| 質(zhì)量 | kg | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | ||||||
| 電源 | 三相 | VAC (Hz) | 200(50/60), 220(60) | |||||||||
| 電流值 | 穩(wěn)定時(shí) | A | 7.1 (at 200V) | 11.2 (at 200V) | 7.8 (at 200V) | 12.9 (at 200V) | 15.4 (at 200V) | |||||
| 最大值 | A | 7.3 (at 200V) | 11.8 (at 200V) | 8.1 (at 200V) | 13.8 (at 200V) | 18.9 (at 200V) | ||||||
| 冷卻水一次圧力 | MPa | 0.1~0.3 | ||||||||||
| 冷卻水出入口壓差 | MPa | >0.1 | ||||||||||
| 冷卻水流量 | L/min | >5.0 | ||||||||||
| 吹掃氣 | 一次壓力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||||||
| 二次壓力 | MPa | 0.05~0.1 | ||||||||||
| N2吹掃 | 軸 | SLM | 5 | |||||||||
| 氣鎮(zhèn) | SLM | 0~45 | ||||||||||
*1 HR300、HR600,、HR1200請(qǐng)勿在200Pa以上的吸入壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),。
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