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AL3000 全自動(dòng)ACCRETECH東京精密紫外激光切割機(jī)

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真空機(jī),、離心機(jī):監(jiān)調(diào)儀;真空系統(tǒng),除塵裝量:數(shù)字粉塵儀;環(huán)境監(jiān)測設(shè)備,環(huán)境測量設(shè)備環(huán)境、檢測設(shè)備

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
儀器種類 精密切割機(jī) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合

全自動(dòng)ACCRETECH東京精密紫外激光切割機(jī)

全自動(dòng)ACCRETECH東京精密紫外激光切割機(jī)


新型的激光引擎機(jī)構(gòu),,兼顧高質(zhì)量加工和高生產(chǎn)效率,。
傳統(tǒng)的激光開槽工藝難以兼顧高質(zhì)量加工和高生產(chǎn)效率,兩者之間存在著一種“權(quán)衡”關(guān)系。 
通過新型的激光引擎機(jī)構(gòu)+高剛性平臺(tái)的組合,,我們提供了一種高質(zhì)量,、高生產(chǎn)效率的激光開槽工藝,解決了兩者之間的“權(quán)衡”問題,。 

φ300mm晶圓對應(yīng)全自動(dòng)激光開槽機(jī)
自動(dòng)支持從水溶性保護(hù)膜分配到激光切割,、清洗的一系列工序。 

支持激光開槽工藝,。
光學(xué)設(shè)計(jì)非常適合低k分組和從街道上方去除TEG,。 
加工變形和熱損傷被控制在較低限度,并形成穩(wěn)定的加工槽,。 

操作性:
采用17英寸觸摸屏+GUI(圖形用戶界面)。 
只需輕觸圖標(biāo)化的按鈕,,即可輕松便捷地進(jìn)行操作,。 
搭載與AD/SS系列通用的操作系統(tǒng),操作簡便,。

型號名稱AL3000
處理方法消融
激光振蕩器

半導(dǎo)體激光器激發(fā)Q開關(guān)固體激光器

波長355納米
最大工件尺寸φ305毫米
切割行程310毫米 x 310毫米
X軸最大移動(dòng)速度1,000 毫米/秒
Y軸最大移動(dòng)速度300毫米/秒
定位精度0.078 微米
Z軸最大移動(dòng)速度10毫米/秒
重復(fù)精度1.0 微米
θ軸最大旋轉(zhuǎn)角度380.0 度
電源

三相200~220VAC±10%
50/60Hz
(380,、415V可選配變壓器)

功耗2.0 kVA(參考值)
供氣壓力0.5~0.7MPa
平均空氣消耗量400升/分鐘
N2供給壓力0.3~0.5MPa
N2平均消耗量30升/分鐘
DI水供水壓力0.3~0.5MPa
最大去離子水消耗流量6.0升/分鐘
排氣4.0立方米/分鐘以上
尺寸(寬 x 深 x 高)1,645 毫米 x 1,680 毫米 x 1,800 毫米
機(jī)器重量2,500公斤





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