微光顯微鏡
- 公司名稱 司邁實(shí)科技(北京)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/5/9 15:07:10
- 訪問次數(shù) 42
聯(lián)系方式:司邁實(shí)15501138672 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,,謝謝!
微光顯微鏡是一種非常有用和高效的分析工具,。主要檢測(cè)IC中釋放的光子。
亮點(diǎn)檢測(cè)不到:
無亮點(diǎn)故障-歐姆接觸,;金屬互聯(lián)短路,;表面反形層;硅導(dǎo)電路等,。
亮點(diǎn)被屏蔽-buriedJunctions和leakagesundermetal,,backside模式可以使用,但只能檢測(cè)到近紅外波段的發(fā)光,,需要減薄拋光,。
OBIRCH(光束誘導(dǎo)電阻變化)
光誘導(dǎo)電阻變化(OBIRCH)模式可以快速準(zhǔn)確地短路IC中的元件、接線和通孔互聯(lián)網(wǎng)中的空洞,、金屬中的硅沉積等缺陷,。其工作原理是用激光束掃描恒定電壓下的設(shè)備表面,將激光束的部分能量轉(zhuǎn)化為熱能,。如果金屬互聯(lián)網(wǎng)有缺陷,,缺陷處的溫度不會(huì)通過金屬線快速傳遞,導(dǎo)致缺陷處的溫度積累和升高,,進(jìn)一步導(dǎo)致金屬線的電阻和電流變化,。OBIRCH模式分辨率高,測(cè)試精度可達(dá)n,。
光束誘導(dǎo)電阻變化(OBIRCH)功能和光發(fā)射(EMMI)通常集成在一個(gè)檢測(cè)系統(tǒng)中,,稱為PEM,兩者相輔相成,可以很好地絕大多數(shù)故障模式,。
以上就是小編為大家介紹的微光顯微鏡,,感謝大家耐心的閱讀,!