PHEMOS-1000 微光顯微鏡 C11222-16
- 公司名稱 司邁實科技(北京)有限公司
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- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/5/9 15:05:42
- 訪問次數(shù) 296
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PHEMOS-1000是一款高分辨率的微光顯微鏡,,通過偵測半導(dǎo)體缺陷引起的微弱的光發(fā)射和熱發(fā)射來準(zhǔn)確定位半導(dǎo)體器件的失效位置。
設(shè)備既可以與通用型探針臺組合使用,,也可搭載濱松Tilt Stage配合Nano Lens進(jìn)行動態(tài)失效分析,。
PHEMOS-1000支持從Probe Card到12英寸大尺寸晶圓的多種任務(wù)和應(yīng)用范圍需求。
產(chǎn)品配置(可選配)
● 激光掃描系統(tǒng)
● 高靈敏度近紅外相機(jī)進(jìn)行光發(fā)射分析
(根據(jù)客戶樣品特點對不同波長范圍的光發(fā)射探測可以選配不同型號相機(jī),,InGaAs, C-CCD, Si-CCD, Emmi-X)
● 高靈敏度中紅外Thermal相機(jī)進(jìn)行熱分析
● 激光誘導(dǎo)阻值變化分析(OBIRCH)
● D-lock in
● Thermal Lock in
● EOP/EOFM
● Tilt Stage
● Nano Lens 進(jìn)行高分辨率,、高靈敏度分析
● Navigation功能
● 連接測試機(jī)進(jìn)行動態(tài)分析
● Laser Marker
外形尺寸