瑞士GOTEC真空泵EKF17-60工作原理

瑞士Gotec真空泵EKF17-60是一款高性能的真空泵,，廣泛應用于工業(yè)和科研領(lǐng)域。其工作原理基于旋片式真空泵的機制,，通過機械運動實現(xiàn)高效的氣體抽吸和真空環(huán)境的建立

一,、工作原理
（一）旋片運動與泵腔容積變化
EKF17-60真空泵的核心部件是一個偏心安裝的轉(zhuǎn)子和若干彈性旋片。轉(zhuǎn)子在電機的驅(qū)動下高速旋轉(zhuǎn),，旋片在離心力和彈簧力的共同作用下,，始終與泵腔內(nèi)壁保持緊密接觸。這種設計將泵腔分割成多個獨立的抽氣單元,，其容積隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而周期性變化,。
吸氣階段：當轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，旋片向外移動,，泵腔容積增大,，形成負壓，氣體通過進氣口被吸入泵腔,。
壓縮階段：隨著轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn),，旋片向內(nèi)移動，泵腔容積減小,，氣體被壓縮,，壓力升高。
排氣階段：當氣體被壓縮到一定程度后,，通過排氣口排出泵外,。
（二）無油設計與清潔真空
EKF17-60采用無油設計，避免了傳統(tǒng)油封真空泵中潤滑油對真空環(huán)境的污染,。這種設計特別適用于對真空清潔度要求較高的應用,，如半導體制造、電子管生產(chǎn)等領(lǐng)域,。
（三）高效能與低噪音運行
該真空泵通過優(yōu)化的機械結(jié)構(gòu)和電機驅(qū)動系統(tǒng),，實現(xiàn)了高效率的氣體抽吸和低噪音運行,。其運行過程平穩(wěn),，振動小，適合長時間連續(xù)工作,。
二,、技術(shù)特點
（一）高真空度與大抽速
EKF17-60能夠在較寬的壓力范圍內(nèi)提供較大的抽速，極限真空度可達1×10?3Pa,。這使其能夠快速建立真空環(huán)境,，滿足多種工業(yè)和科研需求,。
（二）低噪音與緊湊設計
該真空泵運行時噪音極低，結(jié)構(gòu)緊湊,，體積小,，便于安裝和集成到各種設備中。
（三）耐用性強
采用高品質(zhì)材料和精密制造工藝,，EKF17-60具有較長的使用壽命和較高的可靠性,。
三、應用領(lǐng)域
EKF17-60真空泵適用于多種需要高真空環(huán)境的場合,，包括但不限于：
半導體制造：用于光刻,、蝕刻等工藝。
電子管生產(chǎn)：提供清潔的真空環(huán)境,。
科研實驗：用于物理,、化學實驗中的真空需求。
工業(yè)生產(chǎn)：如真空干燥,、真空蒸餾等,。

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