玉崎智能型EBABR荏原理化干式真空泵EV-M型

玉崎智能型EBABR荏原理化干式真空泵EV-M型

EV-M 型可應(yīng)用于在半導(dǎo)體,、液晶和太陽(yáng)能電池制造工藝中有副產(chǎn)物生成的重 制程工藝,。

同時(shí)兼顧了對(duì)重制程工藝和節(jié)能的需求，實(shí)現(xiàn)了停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)的減少和 運(yùn)行成本的降低,。

●產(chǎn)品系列豐富,，可應(yīng)對(duì)多種工藝、抽氣速率需求,；

●兼顧高負(fù)荷與低功耗,；

●可應(yīng)對(duì)腐蝕性氣體（標(biāo)配耐腐蝕材料）。

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NS日本科學(xué),、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)

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