JSM-IT710HR是JEOL 以 “任何人都能輕松拍攝高分辨率圖像的SEM” 為理念而推出的HR*系列的第四代產(chǎn)品,。操作的自動化和觀察性能的提高，可以實現(xiàn)用戶從可以看見到對未知的探索,。

清晰的可見性促進新發(fā)現(xiàn),！

目前，除了納米級的分辨率和分析性能外,，數(shù)據(jù)采集的處理能力也被認為是重要的,。JSM-IT710HR是JEOL 以 “任何人都能輕松拍攝高分辨率圖像的SEM” 為理念而推出的HR*系列的第四代產(chǎn)品,。

JSM-IT710HR操作的自動化和觀察性能的提高，可以實現(xiàn)用戶從可以看見到對未知的探索,。

///  超越所見,，探索未知 ///

降低荷電:  樣品提供：東京農(nóng)工大學(xué) 工學(xué)部生命工學(xué)科  朝倉哲郎先生

晶體結(jié)構(gòu)分析:  樣品提供：物質(zhì)材料研究所(NIMS)  津﨑 兼彰先生

日本電子JSM-IT710HR掃描電子顯微鏡

   新功能                                                                                                                              

1. 自動觀察：Simple SEM/EDS

    Simple SEM 通過一次設(shè)定多個條件來實現(xiàn)自動測試，提高了日常工作效率,。

2. Live 3D: 實時3D

    在低倍率下可以觀察3D活圖像,。

3. 低真空混合二次電子檢測器（LHSED）

    LHSED是新型低真空檢測器，能夠在光發(fā)射信息和形貌像之間切換觀察,。

4. 肖特基場發(fā)射電子槍的穩(wěn)定性提高了4倍多

> 自動電子束調(diào)整

    JSM-IT7010HR從合軸到像散,、對焦可以自動調(diào)整，不需繁瑣的手動,。

> 二次電子檢測系統(tǒng)

     左側(cè)樣品：孔雀羽毛,  右側(cè)樣品：纖維素微纖維

> 高分辨率和大束流

     JSM-IT710HR的肖特基場發(fā)射電子槍和聚光鏡一體化集成,，在生成大束流的同時保持小束斑，能夠進行高分辨觀察和分析,。

> 背散射電子檢測系統(tǒng)

     新型的多分割背散射檢測器可以同時從4個方向采集背散射信息,，生成簡單的3D像并實時顯示。

5. 所有分析都從Zeromag開始

   使用Zeromag的光學(xué)像,，視野搜尋能力提高,；SEM像與光學(xué)像聯(lián)動，觀察,、分析和自動測試簡單化。

6. EDS一體化集成

   JEOL除了SEM,，還自主生產(chǎn)和銷售EDS,。利用這一優(yōu)勢，可以集中操作和管理SEM的觀察畫面和EDS分析結(jié)果,，操作性和數(shù)據(jù)管理能力得到了提高,。

7.  相分析

     JEOL的EDS增加了相分析功能，可以對每種物質(zhì)（化合物/單體）進行面分布分析,。

樣品：精密切削刀片的截面

相分析表明,，Co、Cu和Sn富區(qū)組分存在差異,。

Co area: 68.15%

CuSn (CuRich) area: 16.25%

CuSn (SnRich) area: 14.54%

   應(yīng)用實例                                                                                                                          

1. 電子器件

    JSM-IT710HR的應(yīng)用特性：高分辨,、高對比度、廣域觀察,。

》

》布線圖

利用低真空功能,，對布線圖表面進行大面積觀察。

樣品：布線圖表面, 倍率：×200 (左), ×300 (右), 真空壓力： 70 Pa, 加速電壓： 15 kV

》SRAM

》AL焊盤

通過同時獲取低真空二次電子像和背散射電子像,，可以獲取大面積試樣表面的形貌信息和成分信息,。

樣品：AL焊盤表面,  倍率: ×100, 真空壓力: 70 Pa, 加速電壓: 15 kV

》鋼鐵

適用于EBSD分析的光學(xué)系統(tǒng)（肖特基場發(fā)射槍和透鏡外物鏡）

》能源和陶瓷

JSM-IT710HR的分析能力和低真空功能

鈣鈦礦太陽能電池基片納米層的高精度分析

陶瓷基片(Si3N4)

低真空功能可以進行非導(dǎo)電樣品分析

加速電壓: 5 kV, 低真空元素面掃 (30 Pa), 機器銑削的氮化硅基片表面*

*表面光潔度：機銑后平面氬離子銑

》軟質(zhì)材料與生命科學(xué)

JSM-IT710HR 的低加速電壓,、低真空功能以及超低倍率觀察

ABS樹脂

即使在幾萬倍的放大倍數(shù)下，也可以進行高精度和穩(wěn)定亮度的多幅圖像觀察,。

明膠

高亮度,，高分辨二次電子像

人造血管

在載玻片上從低倍率到高倍率觀察生物樣品。