NeoColor 90晶體基片黑化色度分析儀
- 公司名稱 杭州雷邁科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/4/10 11:43:35
- 訪問次數(shù) 67
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 3萬-5萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,綜合 |
在集成電路黃光制程中，晶體基片黑化后的顏色判別是影響光刻膠曝光精度的關鍵環(huán)節(jié),。傳統(tǒng)方法依賴人工目視評判基片黑化程度和均勻性,，易受環(huán)境光照差異、人眼疲勞及主觀判斷偏差等因素干擾,，導致評估一致性差,、良品率波動顯著（通常損失5%-10%）。尤其在濾波芯片制造中,，納米級線寬要求基片反射率誤差需控制在±0.5%以內,，目視檢測難以滿足精度需求。
NeoColor 90晶體基片黑化色度分析儀采用全波段光譜捕捉（360-780nm）,，反射分辨率達0.01%,，重復測量精度達到ΔE*ab≤0.02,，確保黑化層色度的測量和品控符合工藝標準。
符合標準
符合標準CIE No.-15,， GB/T 30118-2013,，GB/T 3978，GB 2893,，GB/T 18833,，ISO7724-1，ASTM E1164,，DIN5033 Teil7
測量參數(shù)
光譜反射率,CIE-Lab, CIE-LCh, HunterLab, CIE-Luv, XYZ, Yxy, RGB
色差值
ΔE*ab,ΔE*cmc,ΔE*94,ΔE*00
工業(yè)指標
黑度（My,dM）
黃度(ASTM D1925,ASTM E313-00,ASTM E313-73)
Tint(ASTM E313-00)
色密度CMYK(A,T,E,M)
同色異譜指數(shù)MI
遮蓋力
力份(染料強度,著色力)
NeoColor 90晶體基片黑化色度分析儀技術規(guī)格
測量結構：D/8，SCI+SCE
積分球直徑：40mm
分光方式：光柵
感應器：雙陣列高精度CMOS傳感器
照明光源：LED(全波段均衡LED光源)+UV
波長間隔：10nm
波長范圍：400-700nm
反射率測定范圍：0-200%
反射率分辨率：0.01%
測量重復性/穩(wěn)定性：
色度值: 標準偏差值dE*ab≤ 0.02(白板校準后以5秒間隔測量白板30次)
光譜反射率： 標準偏差小于0.08%
臺間差：ΔE*ab≤0.20（BCRA系列Ⅱ 12塊色板測量平均值）
顯示精度：0.01
測量時間：小于2秒
視角：2°,，10°
測量/照明口徑：MAV:Φ8mm/Φ11mm,；SAV:Φ4mm/Φ6mm；MINI:1*3mm
攝像頭取景定位：有
校準：智能自動校準
接口：USB,，藍牙
屏幕：IPS全彩屏幕3.5英寸
存儲：儀器100條標準,，10000條批次樣存儲。
光源壽命：10年100萬次
電池容量：單次充電可連續(xù)測量8000次,，3.7V/3000mAh
語言：簡體中文,，英語
軟件支持：Windows
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