量程

X 方向

30mm

Z 方向

±500μm

傳感器分辨率

0.0016μm/±50μm -0.016μm/±500μm

驅(qū)動(dòng)器

直線度

1μm/200mm

分析算法

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

JIS-82,、JIS-87,、JIS-94,、JIS-01、JIS-13,、ISO-84,、ISO-97、

DIN-90,、ASME-95,、GB-14

參數(shù)

粗糙度輪廓

a75、Rq,、Rp,、Rv、Rc,、Rt,、S、R3z,、PPI,、Ra、

Rsk,、Rku,、Ry、Sm,、RΔa,、RΔq、Rz,、Pc,、Rλa、

Rλq,、lr,、RSm、Rz94,、RPc,、RS、Rz.I,、Rpm,、HSC

波紋度輪廓

WCA、WCC-q,、WCC-p,、WCC-v、WCC-m,、WCC-Sm,、WCA、WC-q,、WC-p,、WC-v、WCM,、WC-Sm,、WC-t、Wa,、Wq,、Wsk Wku、Wp,、Wv,、Wz、Wc,、Wt,、WSm、WΔq,、WPc

原始輪廓

Rsk,、Rku、Rmax,、Sm,、Δa、Δq,、Rz,、λa、λq,、lr,、TILT A、

AVH,、Hmax,、Hmin、AREA,、Rz.J,、Pa、Pq,、Psk,、Pku、Pp,、Pv,、Pc.I,、Pt、PSm,、PΔq,、PPc、Pc

支承率曲線

Rk,、Rpk,、Rvk、Mr1,、Mr2,、V0、K,、A1,、A2

圖形

NCRX、AR,、R,、Rx、NR,、CPM,、SR、SAR,、AW,、W、Wx,、Wte,、NW、SW,、SAW,、Rke、Rpke,、Rvke,、Mr1、Mr2,、

V0,、K

評(píng)定曲線

粗糙度輪廓、波紋度輪廓,、原始輪廓,、支承率曲線、圖形

特征曲線

支承率曲線(Rmr(c)、Rmr2(c),、Rδc(c),、tp(c)、tp2(c),、Htp(c)),、幅頻分析曲線、振幅分布曲線

形狀去除

全域,、前半、后半,、中心,、2點(diǎn)、曲線

濾波器類型

Gaussian,、FFT,、PC、DP,、2RC

濾

止

波

長(zhǎng)

λs

0,、2.5、8,、25μm

λc

0.08,、0.25、0.8,、2.5,、8mm

λf

0.8、2.5,、8,、25mm

評(píng)定長(zhǎng)度

取樣長(zhǎng)度 × 取樣個(gè)數(shù)（取樣長(zhǎng)度有標(biāo)準(zhǔn)模式與自定義模式）

測(cè)量速度

0.05mm/s、0.10mm/s,、0.50mm/s,、1.00mm/s、2.00mm/s

回程速度

0.05mm/s,、0.10mm/s,、0.50mm/s、1.00mm/s,、2.00mm/s

傳感器

型號(hào)

標(biāo)準(zhǔn)通用型

傳感器方式

差動(dòng)電感

量程

±500μm

測(cè)針

5μmR金剛石90°

測(cè)力

0.4mN~0.75mN

操作機(jī)

顯示部分

5寸彩色IPS觸摸屏

數(shù)據(jù)輸出

TF卡/U盤/WIFI打印

對(duì)應(yīng)語(yǔ)言

中文,，英文

尺寸

及質(zhì)量

電源/消耗

AC220V±10%   內(nèi)置充電電池（AC變壓器充電） 充電時(shí)間3小時(shí)

耗電量

約30VA

尺寸/質(zhì)量

執(zhí)行器 80(W)*392(L)*180(H)

操作器 245(W)*162(L)*68(H)