激光干涉儀測量/機(jī)床/三坐標(biāo)精度檢測校正服務(wù)：對(duì)銑床、磨床,、車床,、鏜床、線切割、CNC數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測量機(jī),、影像測量儀器精度誤差檢測校正補(bǔ)償，可實(shí)現(xiàn)線性測長,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度、回轉(zhuǎn)臺(tái),、旋轉(zhuǎn)軸,、直線軸等幾何參量動(dòng)態(tài)測量性能檢測，以及進(jìn)行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,，定位精度檢測,、反向間隙補(bǔ)償、絲桿誤差分析,?？梢匝a(bǔ)償系統(tǒng):西門子 發(fā)那科 三菱 海得漢 發(fā)格 新代 廣數(shù) 華中 凱恩帝等。

激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組（線性鏡組,、角度鏡組,、直線度鏡組、垂直度鏡組,、平面度鏡組,、自動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)），可實(shí)現(xiàn)線性測長,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參數(shù)的高精度測量。在激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下,，可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償,。

數(shù)控機(jī)床在裝配完成后，其定位精度一般是達(dá)不到精度要求的,，單靠提高零件加工精度,，或者提高裝配質(zhì)量來保證機(jī)床精度，將增加制造成本,，而使用數(shù)控系統(tǒng)的“螺距誤差補(bǔ)償”功能,，對(duì)數(shù)控機(jī)床的誤差進(jìn)行補(bǔ)償，是有效又經(jīng)濟(jì)的方法,，激光干涉儀可以進(jìn)行誤差測量和補(bǔ)償,。

激光干涉儀測量/機(jī)床/三坐標(biāo)精度檢測校正服務(wù)設(shè)備、檢測內(nèi)容：

激光干涉儀測量,、機(jī)床,、三坐標(biāo)精度檢測校正服務(wù)的設(shè)備：

1、各類測量機(jī)構(gòu),、儀器的位移測量精度檢測：彈簧試驗(yàn)機(jī),、三坐標(biāo)機(jī)、投影儀,、顯微鏡,。
2、各類普通機(jī)床精度檢測：車床,、銑床,、磨床、鏜床,、鉆床,、線切割、火花機(jī)等,。
3,、各類數(shù)控機(jī)床的配套使用：數(shù)控銑床、加工中心,、數(shù)控磨,、數(shù)控龍門銑床、數(shù)控鏜銑床、數(shù)控車床等,。
4,、可接pc、plc用于各類自動(dòng)化設(shè)備的位移測量精度測量,。

,、、,、,、、,、

激光干涉儀測量,、機(jī)床、三坐標(biāo)精度檢測校正服務(wù)內(nèi)容：

1. ?幾何參數(shù)測量?：激光干涉儀可以實(shí)現(xiàn)對(duì)線性,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參數(shù)的高精度測量?
   ,。例如,，它可以測量機(jī)床導(dǎo)軌的平行度和垂直度，這些測量在光學(xué),、機(jī)械,、電子等各種領(lǐng)域都有應(yīng)用?
   。

2. 運(yùn)動(dòng)設(shè)備導(dǎo)軌的檢測?：激光干涉儀可以檢測數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測量機(jī)等運(yùn)動(dòng)設(shè)備導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角,、直線度、垂直度等?
   ,。

3. ?動(dòng)態(tài)測量與分析?：激光干涉儀具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析、速度分析,、加速度分析,、振幅和頻率分析等，可用于振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等?
   ,。

4. ?誤差補(bǔ)償?：激光干涉儀可以根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)?
   ,。

5. ?環(huán)境補(bǔ)償?：激光干涉儀支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償,，以減少環(huán)境變化對(duì)測量結(jié)果的影響?
   。

6. ?特殊應(yīng)用?：激光干涉儀還可以用于半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測量等特殊場合?
   ,。

● 可實(shí)現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度、平行度,、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的測量；

 ● 可檢測數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測量機(jī)等運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角,、直線度、垂直度等,；

 ● 可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測量,；

 ● 可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

 ● 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；

 ● 具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析,、速度分析,、加速度分析、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

 ● 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償,。

激光干涉儀精度檢測，球桿儀檢測,，可測45米,，采用干涉儀實(shí)際測量精度每米0.095ppm約0.1微米每米.可進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償！三坐標(biāo)測量精度檢測等,，可以補(bǔ)償系統(tǒng):西門子 發(fā)那科 三菱 海得漢 發(fā)格 新代 廣數(shù) 華中 凱恩帝等

雷尼紹激光干涉儀鐳射校正•無線球桿儀•無線回轉(zhuǎn)軸•三軸五軸數(shù)控機(jī)床定位精度•重復(fù)定位精度檢測補(bǔ)償,、反向間隙檢測校正,，旋轉(zhuǎn)軸•直線軸均可測量，可上門服務(wù),。

       在線動(dòng)平衡上門服務(wù)（日本西格瑪）

1.進(jìn)口二三四五軸數(shù)控機(jī)床,。

2.國產(chǎn)二三四五軸數(shù)控機(jī)床。

3.數(shù)控機(jī)床類型：加工中心•車床•車銑復(fù)合•磨床•中走絲•慢走絲•線切割•火花機(jī)•鏡面放電•三次元•三坐標(biāo)•小黃機(jī)•自動(dòng)化設(shè)備•激光切割機(jī)•五軸刀具磨•五軸磨床•五軸立臥式車銑鉆磨復(fù)合等

4.數(shù)控系統(tǒng)類型：法那科•西門子• 法格•三菱•寶元•新代•海德漢•華中•廣數(shù)•臺(tái)達(dá)•萊納克•維宏•北京精雕等,。

5.《定位精度+重復(fù)定位精度+球桿儀圓度幾何精度+ABC旋轉(zhuǎn)軸》可上門服務(wù),，

激光干涉儀測量/數(shù)控機(jī)床重復(fù)定位精度檢測/校正，設(shè)備重復(fù)定位精度,，旋轉(zhuǎn)軸/直線軸均可測量,，鐳射補(bǔ)償，激光補(bǔ)償,，螺距補(bǔ)償,，恢復(fù)機(jī)床精度。上門服務(wù)

激光干涉儀檢測,，回轉(zhuǎn)精度檢測,，數(shù)控機(jī)床定位精度檢測 激光干涉儀測量！測量機(jī)床定位/重復(fù)定位精度,，誤差補(bǔ)償,！??三軸定位精度檢測 ??反向間隙補(bǔ)償 ??絲桿誤差分析

提供可視化數(shù)據(jù)報(bào)告+校準(zhǔn)建議，機(jī)床體檢專家上門服務(wù),！

激光干涉儀測量/數(shù)控機(jī)床重復(fù)定位精度檢測/校正/補(bǔ)償,，設(shè)備重復(fù)定位精度，旋轉(zhuǎn)軸/直線軸均可測量,，數(shù)控機(jī)床做絲杠補(bǔ)償,，可上門檢測服務(wù)。

激光干涉儀測量/各種系統(tǒng)的數(shù)控機(jī)床重復(fù)定位精度檢測/校正,，設(shè)備重復(fù)定位精度,，旋轉(zhuǎn)軸/直線軸均可測量，上門服務(wù),。有需要檢測校正的聯(lián)系,。

機(jī)床定位精度補(bǔ)償、機(jī)床精度檢測,，法那科,，西門子，海德漢,，法格,，華中，三菱機(jī)床,，螺距補(bǔ)償,，各系統(tǒng)五軸,，三軸都可以。

自動(dòng)化設(shè)備定位精度補(bǔ)償,！球桿儀五軸轉(zhuǎn)臺(tái)檢測,，慢走絲、加工中心螺桿檢測,，節(jié)距補(bǔ)償,，機(jī)床精度補(bǔ)償，坐標(biāo)機(jī)補(bǔ)償檢測,，

激光干涉儀測量,，直線軸，搖籃擺頭,，轉(zhuǎn)臺(tái)都可測量/數(shù)控機(jī)床重復(fù)定位精度檢測/校正,，設(shè)備重復(fù)定位精度，上門服務(wù),。

激光干涉儀測量/數(shù)控機(jī)床重復(fù)定位精度檢測/校正，西門子,，發(fā)那科,，新代，三菱等等系統(tǒng)的,，備重復(fù)定位精度,，旋轉(zhuǎn)軸/直線軸均可測量，上門服務(wù),。帶R值測量 可接維修

激光干涉儀高精度線性定位直線回轉(zhuǎn)角度鐳射精度測量,，數(shù)控機(jī)床加工中心精度檢測服務(wù)

直線度平行度激光檢測平面度垂直度測量，雙頻激光干涉儀 直線度垂直度平行度平面度 激光干涉檢測儀

五軸,、回轉(zhuǎn)臺(tái)精度檢測 機(jī)床精度檢測,，激光干涉儀機(jī)床加工中心三坐標(biāo)落地高精度垂直度水平調(diào)節(jié)儀

激光干涉儀 激光切割機(jī)、大型機(jī)床精度校準(zhǔn),，數(shù)控機(jī)床激光干涉儀精度檢測 鏜銑床補(bǔ)償服務(wù),，機(jī)床校準(zhǔn)激光干涉儀高精度測量 線性測量 定位精度，導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度診斷校準(zhǔn),，激光干涉儀 進(jìn)行數(shù)控機(jī)床螺距誤差補(bǔ)償,，回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)。

激光干涉儀測量,、機(jī)床,、三坐標(biāo)精度檢測校正服務(wù)案例：

機(jī)床加工中心校正步驟與方法

1. ?誤差檢測與補(bǔ)償技術(shù)?

• ?基座加工法?

  ：加工特定試驗(yàn)工件（如多臺(tái)階結(jié)構(gòu)），通過測量實(shí)際尺寸與理論值的偏差識(shí)別誤差來源,，調(diào)整機(jī)床參數(shù)（旋轉(zhuǎn)軸坐標(biāo),、刀具補(bǔ)償值等）并反復(fù)驗(yàn)證,。

• ?手動(dòng)RTCP校準(zhǔn)?

  ：使用球頭檢棒和百分表檢測旋轉(zhuǎn)軸（如C軸、A軸）的回轉(zhuǎn)中心偏差,，調(diào)整數(shù)控系統(tǒng)中的RTCP參數(shù),。例如，通過旋轉(zhuǎn)C軸記錄千分表讀數(shù)變化,，修正XY平面內(nèi)的回轉(zhuǎn)中心坐標(biāo),。

• ?自動(dòng)補(bǔ)償系統(tǒng)?

  ：利用接觸測頭與標(biāo)準(zhǔn)球測量13種幾何誤差（如軸芯偏離、垂直度誤差）,，自動(dòng)生成補(bǔ)償參數(shù),。實(shí)測案例顯示，加工面段差可從12μm降至3μm,。

2. ?機(jī)床結(jié)構(gòu)與工藝優(yōu)化?

• ?高剛性設(shè)計(jì)?

  ：優(yōu)化主軸與工作臺(tái)布局（如支撐架高度需大于主軸半徑1.5倍）,，減少加工變形。

• ?刀具與參數(shù)調(diào)整?

  ：選用高質(zhì)量刀具并監(jiān)控磨損,，動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)進(jìn)給速度以減少振動(dòng),。例如，通過振動(dòng)數(shù)據(jù)分析調(diào)整軸增益系數(shù),。

3. ?編程與加工策略?

• ?誤差轉(zhuǎn)移法?

  ：將機(jī)床誤差轉(zhuǎn)移至夾具或通過互為基準(zhǔn)加工抵消誤差,。例如，使用浮動(dòng)連接夾具分散主軸回轉(zhuǎn)誤差,。

• ?分步加工與在線檢測?

  ：粗精加工分離,，利用紅外測頭實(shí)時(shí)修正刀補(bǔ)值。復(fù)雜特征（如空間圓?。┎捎梦遢S聯(lián)動(dòng)局部加工并試切優(yōu)化程序,。

4. ?維護(hù)與環(huán)境控制?

• ?定期校準(zhǔn)?

  ：使用激光干涉儀、球桿儀等工具檢測幾何誤差,，長期使用后復(fù)校參數(shù)以防止地面沉降或溫度漂移,。

• ?溫控措施?

  ：在恒溫車間運(yùn)行或配置熱誤差補(bǔ)償系統(tǒng)，減少熱變形影響,。

典型案例與注意事項(xiàng)

• ?表面光潔度差?

  ：可能因刀具磨損,、共振或爬行現(xiàn)象導(dǎo)致。需更換刀具,、調(diào)整機(jī)床水平并加強(qiáng)潤滑,，優(yōu)化冷卻液與主軸轉(zhuǎn)速。

• ?工件錐度偏差?

  ：檢查機(jī)床水平度,、尾座與主軸同心度,，優(yōu)化切削參數(shù)避免“讓刀”。

通過綜合應(yīng)用上述方法,，可系統(tǒng)性恢復(fù)機(jī)床精度,，提升加工質(zhì)量與設(shè)備壽命,。