摻氟錫氧化物CVD用發(fā)生器
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 蘇州阿洛斯環(huán)境發(fā)生器有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/3/28 9:23:37
- 訪問次數(shù) 32
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設(shè)備配備預(yù)壓料桶,、與大氣隔離的泵模組,、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設(shè)計的嵌入式預(yù)熱器。液態(tài)前驅(qū)體經(jīng)過蒸發(fā)段氣化,，隨后調(diào)溫輸出,。輸出組分進一步分布或混合，為CVD工藝提供氣態(tài)原料,。前驅(qū)體接觸的材質(zhì)均采用耐腐蝕材料,。
PLC控制系統(tǒng)，Ethernet通訊,，與CVD生產(chǎn)線主控系統(tǒng)通訊,。
| 含錫前驅(qū)體 | ≤60 | sccm |
| 含氟前驅(qū)體 | ≤20 | sccm |
| H2O | ≤60 | sccm |
| 功率 | 7.5 | kW |
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