8921SC13美國BIRD油射線RF終止負載5 kW,，DC至28 MHz精度RF負載8921SC13,，13.56 MHz超穩(wěn)定的油二電流RF終止，以實現(xiàn)最大的過程可重復性和一致性,，現(xiàn)代等離子體應用需要精確的RF功率調(diào)節(jié)和控制,。確保準確且可重復的RF電源到腔室的關鍵組件是RF發(fā)電機的校準，調(diào)節(jié)和監(jiān)視?，F(xiàn)在,，Bird提供超穩(wěn)的低VSWR負載，可快速,，精確地測量發(fā)電機功率輸出時,，與精確的功率傳感器（例如Bird 4020系列）一起使用,。 8921SC13不僅提供較低的VSWR,，而且在臨界頻率下VSWR的VSWR總變化少于0.1 dB。由于校準不同的時間長度,，不需要負載熱身或重復性風險,。這可以大程度地減少與此校準相關的錯誤，并控制更關鍵的過程變量之一,。美國BIRD油射線RF終止負載原廠代購,。

  8921SC13美國BIRD油射線RF終止負載技術參數(shù)：

電力等級5 kW頻率范圍和VSWRDC至28 MHz @ 1.1最大。

VSWR小于1.05：1阻抗ω50（名義）VSWR穩(wěn)定性<0.1 dB,，穩(wěn)定頻率下的額定功率從0到100％穩(wěn)定頻率13.56 MHz±10 kHz連接器“ QC”類型LC（女性） - 通常提供互鎖熱開關 - 可選通常關閉,。在236°C（457°F）處打開熱開關等級115 VAC，10 A

230 VAC,，5 A溫度范圍操作： +5至+40°C（+41至+104°F）

存儲： - 40至+45°C（ - 40至40至+113°F）高度1520 m（5000英尺）濕度95％的無調(diào)最大,。冷卻方法油介電和對流電流方面32.8“ x 9.5” x 26.9“

832 x 241 x 681 mm重量126磅。

57公斤結(jié)束黑色環(huán)氧樹脂

東莞市廣聯(lián)自動化科技有限公司專業(yè)供應進口電磁閥,、氣缸,、泵、傳感器,、繼電器,、開關、離合器、過濾器,、濾芯,、流量計、液位計,、編碼器,、伺服閥等產(chǎn)品。德國美國有公司,，廠家一手貨源,，詳請致電。美國BIRD油射線RF終止負載原廠代購,。