MC-5470L LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價 | ￥ 25130 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司
- 品牌 LINTEC/琳得科
- 型號 MC-5470L
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/3/27 15:52:29
- 訪問次數(shù) 44
MC-5470L琳得科 MC-5470LLINTEC琳得科質(zhì)量流量控制器進(jìn)口質(zhì)量流量控制器
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主要經(jīng)營光學(xué)設(shè)備,、電子計測,、科學(xué)儀器、機(jī)械加工設(shè)備,、環(huán)境試驗設(shè)備,、PC周邊用品、作業(yè)工具用品,、電源,、化學(xué)用品、FA自動化上萬種產(chǎn)品的銷售,。
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5470L
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5470L
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器,。
由于是利用氣體或液體的質(zhì)量對流量進(jìn)行控制，故不受溫度及壓力的影響,，可精準(zhǔn)地對流體進(jìn)行控制,。質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器,、制閥以及控制回路所構(gòu)成,。
核心技術(shù)架構(gòu)
傳感系統(tǒng)：
熱式傳感：基于King's Law原理，采用毛細(xì)管式或旁路式設(shè)計,，溫度分辨率達(dá)0.01℃
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 200SLM | Au |
質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU),，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補(bǔ)慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構(gòu)成。當(dāng)氣體未流入時,。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走,，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差,，回路會產(chǎn)生電力對Ru及Rd進(jìn)行加溫,。利用產(chǎn)生的電力和氣體流量的比例做比對、計算出流體的正確流量,。
典型應(yīng)用場景
1. 半導(dǎo)體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?,、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
離子注入（BF?/PH?精確配氣）
2. 新能源領(lǐng)域：
燃料電池氫氣供應(yīng)（動態(tài)響應(yīng)<50ms）
鋰電材料燒結(jié)（N?/O?混合控制）
光伏硅烷沉積（流量波動<±0.3%）
3. 制藥行業(yè)：
生物反應(yīng)器氣體供應(yīng)（O?/CO?/N?三聯(lián)控）
凍干機(jī)惰性氣體保護(hù)（露點控制<-70℃）
無菌灌裝環(huán)境控制（ISO 5級潔凈度
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