LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-5100L

LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-5100L

質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器,。由于是利用氣體或液體的質量對流量進行控制，故不受溫度及壓力的影響,，可精準地對流體進行控制,。質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器,、制閥以及控制回路所構成,。

核心技術架構

傳感系統(tǒng)：

熱式傳感：基于King's Law原理，采用毛細管式或旁路式設計,，溫度分辨率達0.01℃

控制系統(tǒng)：

24位Σ-Δ ADC轉換器

數字PID算法（響應時間<100ms）

支持Modbus RTU/Profibus DP通訊協(xié)議

閥體系統(tǒng)：

壓電瓷閥（響應時間<10ms）

產品核心優(yōu)勢

精準控制能力：

采用自適應PID算法,，在10%-100%量程內保持線性度±0.5%

零漂移補償技術,，長期穩(wěn)定性<±0.5%/年

材料兼容性：

流道材料可選316L不銹鋼、哈氏合金,、PTFE等

通過NACE MR0175酸性環(huán)境認證

質流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數的阻抗線的上流端(RU),，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補慘式質流傳感器(RD)所構成。當氣體未流入時,。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走,，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差,，回路會產生電力對Ru及Rd進行加溫,。利用產生的電力和氣體流量的比例做比對、計算出流體的正確流量,。