LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5470C

LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5470C

質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器,。由于是利用氣體或液體的質(zhì)量對流量進(jìn)行控制,，故不受溫度及壓力的影響，可精準(zhǔn)地對流體進(jìn)行控制,。質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器,、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成,。

核心技術(shù)架構(gòu)

傳感系統(tǒng)：

熱式傳感：基于King's Law原理,，采用毛細(xì)管式或旁路式設(shè)計(jì)，溫度分辨率達(dá)0.01℃

壓差式傳感：基于層流元件和壓差傳感器組合,，適用于大流量范圍（0.1-5000SLM）

控制系統(tǒng)：

24位Σ-Δ ADC轉(zhuǎn)換器

數(shù)字PID算法（響應(yīng)時(shí)間<100ms）

支持Modbus RTU/Profibus DP通訊協(xié)議

閥體系統(tǒng)：

壓電瓷閥（響應(yīng)時(shí)間<10ms）

質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU),，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補(bǔ)慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構(gòu)成。當(dāng)氣體未流入時(shí)。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走,，造成溫度下降,，為維持原本與比的溫差，回路會(huì)產(chǎn)生電力對Ru及Rd進(jìn)行加溫,。利用產(chǎn)生的電力和氣體流量的比例做比對,、計(jì)算出流體的正確流量。

產(chǎn)品核心優(yōu)勢

精準(zhǔn)控制能力：

采用自適應(yīng)PID算法,，在10%-100%量程內(nèi)保持線性度±0.5%

零漂移補(bǔ)償技術(shù),，長期穩(wěn)定性<±0.5%/年

材料兼容性：

流道材料可選316L不銹鋼、哈氏合金,、PTFE等

通過NACE MR0175酸性環(huán)境認(rèn)證