PS-462 SUGIYAMA杉山電機 芯片高度檢測器
參考價 | ¥ 35100 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司
- 品牌 SUGIYAMA/杉山電機
- 型號 PS-462
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/3/24 17:26:30
- 訪問次數(shù) 21
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主要經(jīng)營光學(xué)設(shè)備,、電子計測、科學(xué)儀器,、機械加工設(shè)備,、環(huán)境試驗設(shè)備、PC周邊用品,、作業(yè)工具用品,、電源、化學(xué)用品,、FA自動化上萬種產(chǎn)品的銷售,。
產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 2萬-5萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
SUGIYAMA杉山電機 芯片高度檢測器 PS-462
SUGIYAMA杉山電機 芯片高度檢測器 PS-462
芯片高度檢測器是基于光學(xué)成像與三維重建技術(shù)實現(xiàn)芯片厚度,、共面性等參數(shù)測量的精密儀器,其核心功能包括?納米級厚度測量?,、?封裝共面性檢測?和?微觀形貌分析.
現(xiàn)代設(shè)備集成多焦點成像系統(tǒng),,可實現(xiàn)0.1μm級垂直分辨率,支持晶圓,、封裝基板等場景的全自動在線檢測?25,。典型設(shè)備如日本Daitron的先進檢測系統(tǒng),通過20X光學(xué)放大與AI算法融合,,將檢測效率提升10倍?,。
核心技術(shù)特性
1. 超高精度測量能力
?垂直分辨率?:可達0.01μm(白光干涉型)或0.1μm(多焦點成像型)?
?重復(fù)精度?:±0.15μm(ISO 17025認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn))?
?檢測速度?:單芯片測量耗時<0.5秒(動態(tài)產(chǎn)線適用)?
2. 智能檢測系統(tǒng)架構(gòu)
技術(shù)模塊功能特性技術(shù)來源
多光譜光源消除金屬表面反光干擾專業(yè)化光源設(shè)計?
圖像處理引擎實時邊緣缺陷識別(<1μm)AI深度學(xué)習(xí)算法?
動態(tài)補償系統(tǒng)自動校正工件傾斜(±15°)多焦點成像技術(shù)?
典型應(yīng)用場景
1. 半導(dǎo)體前道制造
?晶圓厚度檢測?:300mm晶圓全表面掃描(檢測周期<3分鐘)?
?CMP工藝監(jiān)控?:研磨后表面平整度測量(Ra值<0.5nm)?
2. 封裝測試環(huán)節(jié)
檢測項目技術(shù)方案性能指標(biāo)
BGA錫球共面性激光三角測量法0.5μm級精度?
QFN封裝翹曲度多角度投影成像±1μm測量誤差?
3. 先進封裝領(lǐng)域
?3D IC堆疊檢測?:TSV通孔深度測量(50-300μm量程)?
?Fan-out封裝?:RDL層厚度均勻性分析(CV值<2%)?
4. 研發(fā)與失效分析
?微觀形貌重建?:20X光學(xué)放大下的3D表面建模?
?缺陷溯源?:結(jié)合FIB/SEM實現(xiàn)跨尺度關(guān)聯(lián)分析?
五、技術(shù)演進方向
?量子傳感融合?:2026年新型設(shè)備將集成量子點傳感器,,分辨率突破0.001μm?
?數(shù)字孿生系統(tǒng)?:實時映射檢測數(shù)據(jù)至虛擬產(chǎn)線模型,,實現(xiàn)預(yù)測性維護?
?超高速檢測?:1.5μm線寬CMOS傳感器支持2000fps采集速率?