EBARA荏原 ESA干式真空泵

ESA型在LCD濺鍍、真空干燥,、大型load-lock等需要高速抽氣的場景表現(xiàn)出色,。具備流量自適應(yīng)轉(zhuǎn)速調(diào)整、通信功能等額外功能,。

EBARA荏原 ESA干式真空泵

●適用于大型真空腔室的高速抽氣場景,；

●搭載轉(zhuǎn)速自動控制功能（自適應(yīng)泵的負(fù)荷）；

●可滿足有機(jī)溶劑要求的可選配件,；

●搭載高性能通信功能,；

●先進(jìn)的控制管理方式

（數(shù)據(jù)保存功能、警報履歷備份）,。

核心技術(shù)特性

無油設(shè)計：采用多級壓縮或爪式/螺桿式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu),，通過精密機(jī)械密封實(shí)現(xiàn)無油運(yùn)行，避免油蒸氣污染,，適合潔凈環(huán)境（如半導(dǎo)體,、生物實(shí)驗(yàn)室）。

耐腐蝕材料：核心部件使用不銹鋼,、陶瓷涂層或特殊合金,，可耐受腐蝕性氣體（如酸性、堿性介質(zhì)）,。

高效節(jié)能：優(yōu)化轉(zhuǎn)子動力學(xué)設(shè)計,，能耗較傳統(tǒng)油式泵降低30%~50%，支持變頻調(diào)速（20%~100%流量調(diào)節(jié)）,。

低維護(hù)成本：無需定期更換油液,，維護(hù)周期長達(dá)8,000~12,000小時，顯著減少停機(jī)時間,。

用戶體驗(yàn)與核心優(yōu)勢

潔凈無污染：消除油蒸氣反流問題,，保護(hù)工藝介質(zhì)與產(chǎn)品質(zhì)量。

低噪音運(yùn)行：噪聲水平＜65 dB(A),，適合實(shí)驗(yàn)室及潔凈車間環(huán)境,。

智能監(jiān)控：集成壓力傳感器與物聯(lián)網(wǎng)模塊，實(shí)時監(jiān)測真空度、溫度,、振動,，支持遠(yuǎn)程報警與故障診斷。

模塊化設(shè)計：支持多泵并聯(lián)或與分子泵,、羅茨泵組成復(fù)合真空系統(tǒng),，覆蓋0.1 Pa~1000 Pa寬范圍真空需求。