普旭無油離子鍍膜晶圓封裝專用真空泵

普旭無油離子鍍膜晶圓封裝專用真空泵聚焦半導(dǎo)體,、電子制造等高精密領(lǐng)域,，離子鍍膜/晶圓封裝專用，99.99%潔凈保障,，賦能精密制造,，專為半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜,、精密封裝設(shè)計,，集成分子泵+干式前級泵，極限真空達(dá) 5×10?? mbar,，潔凈度99.99%,，滿足納米級工藝要求。  

精密電子制造中的真空系統(tǒng)挑戰(zhàn)：  

?? 污染風(fēng)險：油蒸氣或微粒污染導(dǎo)致鍍膜不均,、芯片良率下降,。  

?? 真空度不足：普通泵無法達(dá)到10?? mbar級超高真空，影響工藝精度,。  

?? 穩(wěn)定性差：真空波動造成膜厚偏差（如±5nm以上）,，產(chǎn)品性能不達(dá)標(biāo)。  

核心應(yīng)用場景

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產(chǎn)品特點與性能優(yōu)勢 

1. 超高真空性能  

- 極限真空：5×10?? mbar（分子泵+干泵組合）,，比傳統(tǒng)擴(kuò)散泵提升2個數(shù)量級。  

- 快速抽氣：抽速 **200~2000 L/s**,，30分鐘內(nèi)從大氣壓抽至10?? mbar,。 

2. 0污染保障  

- 全無油設(shè)計：分子泵磁懸浮軸承+干式前級泵，可消除油蒸氣污染,。  

- 潔凈材料：泵體內(nèi)部采用陶瓷/不銹鋼材質(zhì),，微粒釋放量＜0.1μg/m3。  

3. 智能穩(wěn)定控制  

- 自適應(yīng)調(diào)節(jié)：根據(jù)工藝需求自動匹配抽速,，真空度波動＜±1%,。  

- 多重保護(hù)：過載,、過熱,、振動超標(biāo)自動停機(jī),，支持遠(yuǎn)程狀態(tài)監(jiān)控（IoT）。  

4. 高效節(jié)能  

- 能耗降低40%：磁懸浮技術(shù)減少摩擦損耗,，功耗比油擴(kuò)散泵低60%,。  

- 免維護(hù)運行：分子泵壽命＞10萬小時，前級泵維護(hù)周期延長至2年,。  

對比優(yōu)勢（與傳統(tǒng)方案）

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客戶案例實證  

企業(yè)背景：某半導(dǎo)體封測廠,，因真空度不足導(dǎo)致芯片封裝氣孔率超標(biāo)（良率82%）。  

解決方案：  

1. 采用XX-1000分子泵機(jī)組（抽速1000 L/s）,，真空度穩(wěn)定在3×10?? mbar,。  

2. 集成氦質(zhì)譜檢漏模塊，實時監(jiān)控腔體密封性,。  

成果：  

- 封裝良率提升至98.5%,，年增收超1500萬元。  

- 設(shè)備綜合能耗降低50%,，通過ISO 14644-1 Class 5潔凈認(rèn)證,。  

核心價值：  

1. 納米級精度：10?? mbar級真空環(huán)境，保障鍍膜/封裝工藝極限性能,。  

2. 0污染生產(chǎn)：全無油設(shè)計+99.99%潔凈度,，滿足半導(dǎo)體/光學(xué)行業(yè)嚴(yán)苛要求。  

3. 長效降本：10萬小時免維護(hù)運行,，綜合成本比傳統(tǒng)方案降低35%,。