EBARA荏原 EV-M干式真空泵

EV-M型可應(yīng)用于在半導(dǎo)體,、液晶和太陽能電池制造工藝中有副產(chǎn)物生成的重制程工藝。同時兼顧了對重制程工藝和節(jié)能的需求,，實現(xiàn)了停機風(fēng)險的減少和運行成本的降低。

EBARA荏原 EV-M干式真空泵

通過大范圍的溫度控制,，擴大了適用工藝范圍,。因同一機型能夠覆蓋多種工藝，能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫存,，減少用于維護和培訓(xùn)的人力時間,，并且能夠靈活應(yīng)對未來的工藝擴展。

產(chǎn)品系列豐富,，可應(yīng)對多種工藝,、抽氣速率需求；

●兼顧高負荷與低功耗,；

●可應(yīng)對腐蝕性氣體（標配耐腐蝕材料）,。

核心技術(shù)特性

無油設(shè)計：采用多級壓縮或爪式/螺桿式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu),，通過精密機械密封實現(xiàn)無油運行，避免油蒸氣污染,，適合潔凈環(huán)境（如半導(dǎo)體,、生物實驗室）。

耐腐蝕材料：核心部件使用不銹鋼,、陶瓷涂層或特殊合金,，可耐受腐蝕性氣體（如酸性、堿性介質(zhì)）,。

高效節(jié)能：優(yōu)化轉(zhuǎn)子動力學(xué)設(shè)計,，能耗較傳統(tǒng)油式泵降低30%~50%，支持變頻調(diào)速（20%~100%流量調(diào)節(jié)）,。

低維護成本：無需定期更換油液,，維護周期長達8,000~12,000小時，顯著減少停機時間,。

用戶體驗與核心優(yōu)勢

潔凈無污染：消除油蒸氣反流問題,，保護工藝介質(zhì)與產(chǎn)品質(zhì)量。

低噪音運行：噪聲水平＜65 dB(A),，適合實驗室及潔凈車間環(huán)境,。

智能監(jiān)控：集成壓力傳感器與物聯(lián)網(wǎng)模塊，實時監(jiān)測真空度,、溫度,、振動，支持遠程報警與故障診斷,。

模塊化設(shè)計：支持多泵并聯(lián)或與分子泵,、羅茨泵組成復(fù)合真空系統(tǒng)，覆蓋0.1 Pa~1000 Pa寬范圍真空需求,。