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FLTZ-1002W 量子級溫控半導(dǎo)體冷水機(jī)丨光刻機(jī)精密溫控
參考價(jià) | ¥ 186980 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司
- 品牌 冠亞恒溫
- 型號 FLTZ-1002W
- 產(chǎn)地 江蘇省無錫市錫山區(qū)翰林路55號
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/3/20 13:14:21
- 訪問次數(shù) 24
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制冷加熱循環(huán)器,、加熱制冷控溫系統(tǒng)、反應(yīng)釜溫控系統(tǒng),、加熱循環(huán)器,、低溫冷凍機(jī)、低溫制冷循環(huán)器,、冷卻水循環(huán)器,、工業(yè)冷處理低溫箱、低溫冷凍機(jī),、加熱制冷恒溫槽等設(shè)備
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 10萬-50萬 |
---|---|---|---|
冷卻方式 | 水冷式 | 儀器種類 | 一體式 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
量子級溫控半導(dǎo)體冷水機(jī)丨光刻機(jī)精密溫控
量子級溫控半導(dǎo)體冷水機(jī)丨光刻機(jī)精密溫控
在半導(dǎo)體制造過程中,,刻蝕工藝的精度直接影響著芯片的性能和良率。作為刻蝕工藝的核心溫控設(shè)備,,半導(dǎo)體刻蝕工藝溫控裝置chiller的穩(wěn)定運(yùn)行有助于工藝控制,。隨著半導(dǎo)體器件特征尺寸的不斷縮小,刻蝕工藝對溫度控制的要求越來越高,,溫度波動須控制很小的范圍以內(nèi),。
一、刻蝕工藝對溫度控制的特殊要求
刻蝕工藝中,,溫度直接影響刻蝕速率,、選擇比和線寬控制,。在制程中,溫度變化可能導(dǎo)致刻蝕速率變化,,嚴(yán)重影響工藝穩(wěn)定性,。
Chiller系統(tǒng)在刻蝕工藝中的作用不僅是為工藝設(shè)備提供制冷,更重要的是實(shí)現(xiàn)溫度控制?,F(xiàn)代刻蝕設(shè)備通常配備多個(gè)溫度控制區(qū),,每個(gè)區(qū)域都需要分開的溫度控制,這對Chiller系統(tǒng)提出了更高要求,。
二,、刻蝕工藝Chiller日常維護(hù)要點(diǎn)
冷卻介質(zhì)管理是Chiller維護(hù),需要定期檢測冷卻水的電導(dǎo)率,、pH值和微生物含量,,確保水質(zhì)符合要求。建議每周檢測一次水質(zhì),,每月更換一次冷卻水。同時(shí)要注意觀察冷卻水流量,,確保其在正常范圍內(nèi),。
溫度控制精度校準(zhǔn)是確保工藝穩(wěn)定的關(guān)鍵。每月應(yīng)使用標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)對Chiller系統(tǒng)的溫度傳感器進(jìn)行校準(zhǔn),,確保溫度控制精度,。要特別注意多點(diǎn)溫度的一致性,避免出現(xiàn)溫度偏差,。
過濾系統(tǒng)維護(hù)直接影響制冷效果,。要定期檢查和更換過濾器,建議每月檢查一次過濾器狀態(tài),,每季度更換一次過濾器,。同時(shí)要定期清洗冷卻水管道,防止水垢和微生物積聚,。
三,、建立完善的Chiller維護(hù)管理體系
制定科學(xué)的維護(hù)計(jì)劃是確保維護(hù)質(zhì)量的基礎(chǔ)。要根據(jù)設(shè)備使用情況制定每日,、每周,、每月、每季度的維護(hù)任務(wù)清單,,明確每項(xiàng)任務(wù)的具體要求和執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn),。
要建立電子化維護(hù)記錄系統(tǒng),記錄每次維護(hù)的具體內(nèi)容和發(fā)現(xiàn)的問題,。通過分析歷史數(shù)據(jù),,可以預(yù)測設(shè)備可能出現(xiàn)的故障,,提前采取預(yù)防措施。
在半導(dǎo)體制造行業(yè),,刻蝕工藝溫控裝置Chiller的日常維護(hù)已從簡單的設(shè)備保養(yǎng)上升為保障生產(chǎn)質(zhì)量的環(huán)節(jié)之一,。通過建立科學(xué)完善的維護(hù)體系,嚴(yán)格執(zhí)行各項(xiàng)維護(hù)措施,,不僅可以確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行,,更能為提升產(chǎn)品良率、降低生產(chǎn)成本提供有力支持,。
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