FE-5000型鐵電薄膜測試儀

   FE-5000W型電致應(yīng)變鐵電測試儀是一款高量程款的鐵電性能材料測試裝置,，這款設(shè)備可以適用于鐵電薄膜,、鐵電體材料（既可塊體材料）的電性能測量，可測量鐵電薄膜電滯回線,、可測出具有非對稱電滯回線鐵電薄膜值,。可以進行電致應(yīng)變測試，可以蝴蝶曲線功能,，設(shè)備還可以擴展高溫電阻,，高溫介電，電容-電壓曲線,，TSC/TSDC等功能,。本儀器是從事壓電材料及壓電元件生產(chǎn)、應(yīng)用與研究部門的重要設(shè)備之一,，已經(jīng)在各大高校和科研院所廣泛使用,。

二、主要技術(shù)指標：

1,、輸出信號電壓：：±5000V（可擴展至10 kV）,可擴展電致應(yīng)蝴蝶曲線功能

2,、溫度；室溫-200℃,，控溫精度：±1℃

3,、控制施加頻率0.01到250KHz（陶瓷、單晶,，薄膜）PC端軟件控制自定義設(shè)置；

4,、控制輸出電流0到±50mA連續(xù)可調(diào),，PC端軟件控制自定義設(shè)置。

5,、動態(tài)電滯回線測試頻率范圍 0.01Hz-5kHz

7,、最小脈寬保持時間為20us;最小上升沿時間為10us;

8、疲勞測試頻率500kHz（振幅10 Vpp,，負載電容1 nF）,；使用高壓放大器后疲勞頻率最高5kHz;

9、測試速度：測量時間《5秒/樣品•溫度點   

10,、樣品規(guī)格：塊體材料尺寸：直徑2-100mm,，厚度0.1-10mm

11、主要功能： 動態(tài)電滯回線DHM,，靜態(tài)電滯回線SHM,，I-V特性,，脈沖PUND，疲勞Fatigue,，電擊穿強度BDM,，漏電流LM，電流-偏壓,，保持力RM,，

10. 電荷解析度不小于10 mC;

漏電流測量范圍:1pA~ 20 mA，分辨率不低于0.1pA;

12,、控制方式：計算機實時控制,、實時顯示、實時數(shù)據(jù)計算,、分析與存儲

13,、軟件采集：自動采集軟件，分析可以兼容其他相關(guān)主流軟件,。

14,、測試精度：±0.05%

15、內(nèi)置電壓：±20V

鐵電參數(shù)測試主要性能指標：

a. 外接5 kV高壓放大器,；

b. 動態(tài)電滯回線測試頻率范圍0.01 Hz ～ 1 kHz,；

c. 最大電荷解析度：10 mC；

d. 疲勞測試頻率300 kHz（振幅10 Vpp,，負載電容1 nF）,；

e. 漏電流測量范圍 1 pA ～ 20 mA，分辨率0.1 pA,；

f. 配有高壓擊穿保護模塊,。

本測試系統(tǒng)由主控器、高壓放大器,、變溫綜合測試平臺（配鐵電測試盒）或高低溫探針臺（配高壓探針）,、計算機及系統(tǒng)軟件部分組成。主控器集成了可編程波形發(fā)生器,、內(nèi)置驅(qū)動電壓,、電荷積分器、可編程放大器,、模數(shù)轉(zhuǎn)換器,、通訊總線等功能，主控器提供擴展外置高壓放大器接口,，可擴展±5 kV或±10 kV的高壓放大器,。系統(tǒng)軟件包括可視化數(shù)據(jù)采集和管理功能，測試時,，無需改變測試樣品的連接,，即可實現(xiàn)滯回,，脈沖，漏電,，IV等性能測試,。

本鐵電參數(shù)測試儀/PUND測試采用改進的Sawyer- Tower測量方法，與傳統(tǒng)的Sawyer- Tower模式相比,，此電路取消了外接電容,，可減小寄生元件的影響。此電路的測試精度僅取決于積分器積分電容的精度,，減少了對測試的影響環(huán)節(jié),，容易定標和校準，并且能實現(xiàn)較高的測量準確度,。

該系統(tǒng)測試功能：

動態(tài)電滯回線DHM

I-V特性

脈沖PUND

疲勞Fatigue

漏電流LM

電流-偏壓,。