真空腔材質為無磁材料,，能夠有效減小外界的電磁干擾,，如不銹鋼、鋁合金等,，典型：鋁合金一體成型,，直徑≥220mm，高度≥140mm,，防輻射屏帶≥50mm藍寶石窗口，可定制不同體積腔體,，通過O圈和CF法蘭密封,；

高可見光透射觀察窗口設有兩層，外層為紅外絕熱窗片,，隔絕環(huán)境光輻射,；

探針臂：配置4個直流臂，外部預留三同軸接口,，可進行直流到50MHz的射頻測量,，探針臂的漏電流要求小于100fA@[email protected],，整體帶有不低于50歐姆的匹配阻抗,；預留2個探針臂,，支持后續(xù)甚至拓展；

降溫時間：120分鐘到5K,；

下法蘭帶固定端，與光學平臺連接,；

直徑為4英寸的紫銅材質樣品臺；

真空度：室溫：優(yōu)于5×10-4mbar,；基礎溫度：優(yōu)于5×10-5mbar；

氣孔：標配一個KF25真空抽氣口,，一個快速破真空進氣口

X-Y-Z-R四維調節(jié)：X方向移動范圍≥50mm,；Y方向移動范圍≥25mm,；Z方向移動范圍≥25mm，R-±10°,，X/Y/Z方向的加工精度≤±0.03 mm；讀數(shù)精度不小于10um,，旋轉精度不小于0.01°，移動精度不小于10um,，旋轉精度不小于0.01°，可以滿足全部4英寸范圍的扎針,；

每個探針臂預留≥2個真空密封法蘭，支持升級拓展,；

樣品臺三檔高度可調,；

位移方向XYZ三軸,采用交叉滾柱導軌,產品定向性能穩(wěn)定,；

配鈹銅,、鎢等探針；

標準4英寸接地樣品臺,，支持不同尺寸樣品臺

光學隔振平臺專門設計的水平減震機構,，隔振基礎采用二層氣囊隔離，空氣隔離器利用空氣阻尼技術在各個方向上都提供了優(yōu)異的減振性能,，減振器自身的自然振動頻率非常低,，防止由瞬變干擾產生的搖擺；

穩(wěn)定輕松調節(jié),，穩(wěn)定可靠結構十分緊湊；

平面度＜0.10mm/m2,；

固有頻率垂直1.2Hz～1.8Hz,水平1.2Hz～1.8Hz；

振幅＜1.2μm,；

重復定位精度±0.05mm。

顯微鏡帶有LED環(huán)形和同軸光源,，配合CCD相機,，可以將待測器件放大10-180倍,，工作距離90-100mm；

CCD相機分辨率不小于3μm,，有拍照,、錄像等功能,，可以將照片、視頻通過數(shù)據(jù)線傳輸?shù)诫娔X端,；

X/Y方向移動距離≥40mm,，成像分辨率≤4微米,，連續(xù)變倍比≥6.5:1

配高清成像CCD,，采用USB連接電腦,，2000萬像素,，HDMI數(shù)字傳輸接口，數(shù)據(jù)傳輸速率≥480MPS, 通過軟件調節(jié)亮度,、對比度,、銳度和伽馬值，可以拍照,、錄像,；

探測儀配件*：可探測波長范圍3-6μm，收光范圍覆蓋φ2 mm,，外部電源±12V，工作溫度覆蓋0-40℃,，液氮制冷，內置放大器,，工作頻率覆蓋5-12000Hz,。

*注：支持定制多種探針臺結合的檢測探測耦合方案

配置一：配備普發(fā)(Pfeiffer Vacuum,，德國)分子泵。前級泵為隔膜泵,，抽速不低于1立方米/小時/氮氣,，分子泵機組抽速不低于67L/s @氮氣，極限真空小于1X10-7mbar,；含全量程真空規(guī)和配套真空計等。

配置二：配風冷復合分子泵+機械泵,，設備真空度在分子泵啟動到400Hz后優(yōu)于3*10-3Pa，30分鐘以內優(yōu)于5*10-4Pa,，極限真空度3*10-5Pa。分子泵：抽速600L/s,；機械泵：抽速3L/s。含全量程真空規(guī)和配套真空計等,。

常溫真空系統(tǒng)極限噪音電流≤100fA，配合半導體參數(shù)分析儀,；

備注：支持其它定制化真空發(fā)生器配置,。

高溫部件構成及低溫部件構成；

具有不少于8通道獨立輸入和兩通道分別為100W和50W的加熱輸出,。樣品臺上帶有高精度高低溫溫度傳感器和100W高低溫高精度專用加熱器；

溫度范圍：4.5K～500K,，分辨率不低于1K,；

制冷形式：采用閉循環(huán)制冷機制冷,，不需要消耗液氮或液氦（采用連續(xù)流降溫技術），降溫到基礎溫度時間≤45分鐘（典型：室溫到基礎溫度消耗液氮4-5L,，80k控溫液氮≤1.5L/h）,；

≥8KW一體風冷循環(huán)冷卻水,；

制冷源及維護時間：冷頭維護時間不少于10000個小時；壓縮機維護時間不少于30000個小時,；

同軸制冷劑入口,，具有二級熱交換平臺；

高精度液氮傳輸管線,，流量傳輸管線采用真空密封波紋管,，雙層套管結構，可精細調節(jié)液氮流量,；

搭配50L等液氮杜瓦罐,，自增壓，匹配探針臺傳輸管線,，包括壓力計,，氣口，氣閥

3路質量流量計,，配置質量流量計,；

3路CF16手動充氣針閥。

密封套件,；

鎢鋼,、鈹銅等探針（含多種規(guī)格）,；

探針臂陶瓷件,；

同軸電纜等；

安全壓力閥（10psi）,。