真空腔材質(zhì)為無磁材料，能夠有效減小外界的電磁干擾,，如不銹鋼,、鋁合金等，典型：鋁合金一體成型,，直徑≥220mm,，高度≥140mm,，防輻射屏帶≥50mm藍(lán)寶石窗口，可定制不同體積腔體,，通過O圈和CF法蘭密封,；

高可見光透射觀察窗口設(shè)有兩層，外層為紅外絕熱窗片,，隔絕環(huán)境光輻射,；

探針臂：配置4個(gè)直流臂，外部預(yù)留三同軸接口,，可進(jìn)行直流到50MHz的射頻測量,，探針臂的漏電流要求小于100fA@[email protected]，整體帶有不低于50歐姆的匹配阻抗,；預(yù)留2個(gè)探針臂,，支持后續(xù)甚至拓展；

降溫時(shí)間：120分鐘到5K,；

下法蘭帶固定端,，與光學(xué)平臺連接；

直徑為4英寸的紫銅材質(zhì)樣品臺,；

真空度：室溫：優(yōu)于5×10-4mbar,；基礎(chǔ)溫度：優(yōu)于5×10-5mbar；

氣孔：標(biāo)配一個(gè)KF25真空抽氣口,，一個(gè)快速破真空進(jìn)氣口

X-Y-Z-R四維調(diào)節(jié)：X方向移動范圍≥50mm,；Y方向移動范圍≥25mm；Z方向移動范圍≥25mm,，R-±10°,，X/Y/Z方向的加工精度≤±0.03 mm；讀數(shù)精度不小于10um,，旋轉(zhuǎn)精度不小于0.01°,，移動精度不小于10um，旋轉(zhuǎn)精度不小于0.01°,，可以滿足全部4英寸范圍的扎針,；

每個(gè)探針臂預(yù)留≥2個(gè)真空密封法蘭，支持升級拓展,；

樣品臺三檔高度可調(diào),；

位移方向XYZ三軸,采用交叉滾柱導(dǎo)軌,產(chǎn)品定向性能穩(wěn)定；

配鈹銅,、鎢等探針,；

標(biāo)準(zhǔn)4英寸接地樣品臺，支持不同尺寸樣品臺

光學(xué)隔振平臺專門設(shè)計(jì)的水平減震機(jī)構(gòu)，隔振基礎(chǔ)采用二層氣囊隔離,，空氣隔離器利用空氣阻尼技術(shù)在各個(gè)方向上都提供了優(yōu)異的減振性能,，減振器自身的自然振動頻率非常低，防止由瞬變干擾產(chǎn)生的搖擺,；

穩(wěn)定輕松調(diào)節(jié),，穩(wěn)定可靠結(jié)構(gòu)十分緊湊；

平面度＜0.10mm/m2,；

固有頻率垂直1.2Hz～1.8Hz,水平1.2Hz～1.8Hz,；

振幅＜1.2μm；

重復(fù)定位精度±0.05mm,。

顯微鏡帶有LED環(huán)形和同軸光源,，配合CCD相機(jī)，可以將待測器件放大10-180倍,，工作距離90-100mm,；

CCD相機(jī)分辨率不小于3μm，有拍照,、錄像等功能,，可以將照片、視頻通過數(shù)據(jù)線傳輸?shù)诫娔X端,；

X/Y方向移動距離≥40mm,，成像分辨率≤4微米，連續(xù)變倍比≥6.5:1

配高清成像CCD,，采用USB連接電腦,，2000萬像素，HDMI數(shù)字傳輸接口,，數(shù)據(jù)傳輸速率≥480MPS, 通過軟件調(diào)節(jié)亮度,、對比度、銳度和伽馬值,，可以拍照,、錄像；

探測儀配件*：可探測波長范圍3-6μm,，收光范圍覆蓋φ2 mm,，外部電源±12V，工作溫度覆蓋0-40℃,，液氮制冷，內(nèi)置放大器,，工作頻率覆蓋5-12000Hz,。

*注：支持定制多種探針臺結(jié)合的檢測探測耦合方案

配置一：配備普發(fā)(Pfeiffer Vacuum，德國)分子泵,。前級泵為隔膜泵,，抽速不低于1立方米/小時(shí)/氮?dú)?，分子泵機(jī)組抽速不低于67L/s @氮?dú)猓瑯O限真空小于1X10-7mbar,；含全量程真空規(guī)和配套真空計(jì)等,。

配置二：配風(fēng)冷復(fù)合分子泵+機(jī)械泵，設(shè)備真空度在分子泵啟動到400Hz后優(yōu)于3*10-3Pa,，30分鐘以內(nèi)優(yōu)于5*10-4Pa,，極限真空度3*10-5Pa。分子泵：抽速600L/s,；機(jī)械泵：抽速3L/s,。含全量程真空規(guī)和配套真空計(jì)等。

常溫真空系統(tǒng)極限噪音電流≤100fA,，配合半導(dǎo)體參數(shù)分析儀,；

備注：支持其它定制化真空發(fā)生器配置。

高溫部件構(gòu)成及低溫部件構(gòu)成,；

具有不少于8通道獨(dú)立輸入和兩通道分別為100W和50W的加熱輸出,。樣品臺上帶有高精度高低溫溫度傳感器和100W高低溫高精度專用加熱器；

溫度范圍：4.5K～500K,，分辨率不低于1K,；

制冷形式：采用閉循環(huán)制冷機(jī)制冷，不需要消耗液氮或液氦（采用連續(xù)流降溫技術(shù)）,，降溫到基礎(chǔ)溫度時(shí)間≤45分鐘（典型：室溫到基礎(chǔ)溫度消耗液氮4-5L,，80k控溫液氮≤1.5L/h）；

≥8KW一體風(fēng)冷循環(huán)冷卻水,；

制冷源及維護(hù)時(shí)間：冷頭維護(hù)時(shí)間不少于10000個(gè)小時(shí),；壓縮機(jī)維護(hù)時(shí)間不少于30000個(gè)小時(shí)；

同軸制冷劑入口,，具有二級熱交換平臺,；

高精度液氮傳輸管線，流量傳輸管線采用真空密封波紋管,，雙層套管結(jié)構(gòu),，可精細(xì)調(diào)節(jié)液氮流量；

搭配50L等液氮杜瓦罐,，自增壓,，匹配探針臺傳輸管線，包括壓力計(jì),，氣口,，氣閥

3路質(zhì)量流量計(jì)，配置質(zhì)量流量計(jì)；

3路CF16手動充氣針閥,。

密封套件,；

鎢鋼、鈹銅等探針（含多種規(guī)格）,；

探針臂陶瓷件,；

同軸電纜等；

安全壓力閥（10psi）,。