AFM5500M II全自動掃描探針顯微鏡除了配置高精度平板掃描器和各種測量自動化功能,，還有兩種共享坐標(biāo)樣品臺功能,。通過多種設(shè)備的關(guān)聯(lián)解析，實現(xiàn)了單個設(shè)備無法實現(xiàn)的多維缺陷評價和故障解析,。

主要特點

1. AFM自動化測量

• 通過自動化控制大大提高效率,，自動探針安裝，自動光軸調(diào)整,，自動參數(shù)優(yōu)化,；

• 排除人為操作失誤導(dǎo)致的測量誤差，一鍵自動測量/處理/分析（提高整體測試效率）

2. 可靠性

排除機械原因造成的誤差

大范圍水平掃描

采用管型掃描器的原子力顯微鏡,，針對掃描器圓弧運動所產(chǎn)生的曲面,，通常通過軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)。但是,，用軟件校正方式不能消除掃描器圓弧運動的影響,，圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。
AFM5500M搭載了全新研發(fā)的水平掃描器，可實現(xiàn)不受圓弧運動影響的準(zhǔn)確測試,。 

樣品 ：硅片上的非晶硅薄膜

高精角度測量

普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器,，在豎直伸縮的時候，會發(fā)生彎曲（crosstalk）,。這是圖像在水平方向產(chǎn)生形貌誤差的直接原因,。
AFM5500M中搭載的全新掃描器，在豎直方向上不會發(fā)生彎曲（crosstalk） ,，可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像,。

樣品 : 太陽能電池(由于其晶體取向具有對稱結(jié)構(gòu))

• * 使用AFM5100N（開環(huán)控制）時  

3. 利用探針評價功能進行探針直徑管理

4. SIS模式可有效提高數(shù)據(jù)可靠性

SIS（Sampling Intelligent Scan）樣品智能掃描模式只有在需要測量樣品形貌和物性信息時才靠近測量點，自動控制探針位置,，消除對測量不利的水平力,，可測量吸附力較大或粗糙的樣品，同時可大幅降低對探針的磨損和對樣品的損傷,，有效提高數(shù)據(jù)的可靠性,。

5. 支持機械物性/電磁物性等廣泛的物性測量

掃描探針顯微鏡是一種不僅可以測量形貌，還支持各種物性檢測的顯微鏡,。AFM5500MⅡ支持可同時獲取彈性模量,、形變、吸附力和摩擦力等各種機械物性的SIS-ACCESS/SIS-QuantiMech功能,、以及導(dǎo)電性,、壓電分布和表面電位等各種電磁物性測量。

6. 新的表面電位勢測量模式 AM-KFM/FM-KFM（可用于定量和靈敏度等不同場景）

除調(diào)幅開爾文力顯微鏡(AM-KFM)外,，AFM5500MⅡ還新增了調(diào)頻開爾文力顯微鏡(FM-KFM),。FM-KFM與AM-KFM相比，信號主要來自于探針的,，電位檢測靈敏度更高,，在電位的定量分析上更勝。AM-KFM適用于單一材料間的電位和功函數(shù)對比等,，F(xiàn)M-KFM適用于測量需要進行精細(xì)周期結(jié)構(gòu)和海島結(jié)構(gòu)量化的復(fù)合材料,，兩種模式通過點擊即可自由切換。

7. 使用AFM,、SEM,、CSI等不同顯微鏡觀察同一位置，實現(xiàn)多維度解析

通過SEM,、AFM,、CSI等進行樣品的同一位置測試，可以對目標(biāo)視野進行多維度解析,，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的參照對比,。日立高新可以提供的SEM/AFM/CSI同視野觀察,，實現(xiàn)聯(lián)動分析。

使用共享樣品臺進行坐標(biāo)聯(lián)動,，或通過全新的AFM標(biāo)記功能,，可以在AFM、SEM,、CSI之間快速,、輕松地鎖定同一視野，進一步擴大了聯(lián)動分析的應(yīng)用范圍,。