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化工儀器網>產品展廳>化工機械設備>制藥機械>制藥用水設備>BR-10T 新疆10噸半導體超純水設備用途


上海濱潤環(huán)??萍加邢薰咀詣?chuàng)建以來,,主要從事制藥,生物,,保健品,,化妝品,工業(yè),,化工,醫(yī)院等純水,,超純水的成套設備,,能提供從原水開始到合格純水,純化水,,超純水,,注射用水(包括用水點)的全套工藝設計、設備制造,、安裝,、調試及DQ、IQ,、OQ文件資料等“交鑰匙”工程,。












純水設備,,純凈水設備,超純水設備,,反滲透設備,,超濾設備

應用領域 環(huán)保,食品,化工,電子,制藥

新疆10噸半導體超純水設備用途

新疆10噸半導體超純水設備用途

  • 晶圓清洗:在半導體制造過程中,晶圓表面的清潔度至關重要,。10噸半導體超純水設備提供的超純水,,用于晶圓的多次清洗步驟,有效去除附著的微粒,、有機物及金屬離子,,確保晶圓表面達到納米級別的純凈度,為后續(xù)的光刻,、蝕刻等精細操作奠定了堅實基礎,。

  • 化學試劑配制與稀釋:超純水不僅是清洗的介質,更是配制半導體制造中各種化學試劑的溶劑,。從光刻膠的顯影液到蝕刻過程中的化學試劑,,超純水的高純度保證了化學反應的精確進行,提升了集成電路圖形的精度和一致性,。

  • 芯片封裝:在芯片封裝階段,,超純水同樣發(fā)揮著作用。無論是封裝材料的清洗還是在封裝工藝中作為介質使用,,超純水的無污染特性都有助于提升封裝的可靠性和芯片的長期穩(wěn)定性,,是實現(xiàn)高密度、高性能封裝技術的關鍵因素之一,。


工藝特點

  • 高效預處理:設備通過多介質過濾器,、活性炭過濾器等預處理系統(tǒng),有效去除水中的懸浮物,、膠體,、有機物、余氯等雜質,,降低水的濁度和污染指數(shù),,為后續(xù)的反滲透和EDI處理提供合格的進水。

  • 反滲透技術:采用優(yōu)良的反滲透膜技術,,利用高壓泵將水分子透過反滲透膜,,截留水中的溶解性鹽類、膠體,、微生物,、有機物等雜質,使出水達到初級純化水的標準。反滲透技術的引入,,大大提高了超純水的產水效率和水質穩(wěn)定性,。

  • EDI系統(tǒng):作為設備的核心部分,EDI系統(tǒng)結合了離子交換膜技術和離子電遷移技術,,無需酸堿再生即可連續(xù)制備超純水,。EDI系統(tǒng)通過電去離子的方式進一步去除水中的離子,使出水電阻率達到18 MΩ·cm以上,,滿足半導體制造對水質的高要求,。

  • 后處理工藝:為了進一步提升水質,設備還配備了紫外線殺菌器,、拋光混床等后處理工藝,。紫外線殺菌器利用紫外線的殺菌作用殺滅水中的細菌和病毒;拋光混床則通過離子交換樹脂進一步去除水中的微量離子和有機物,,確保出水水質達到更高的標準,。

綜上所述,新疆10噸半導體超純水設備用途以其性能和廣泛的應用領域,,在半導體制造行業(yè)中發(fā)揮著不可替代的作用,。隨著半導體技術的不斷進步和市場需求的不斷增長,超純水設備也將持續(xù)創(chuàng)新和優(yōu)化,,為半導體產業(yè)的繁榮發(fā)展提供更加堅實的支撐,。




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