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XRM-1203M-193 Lambda準分子激光反射鏡 輸出波長193nm

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳維爾克斯光電有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 XRM-1203M-193
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2025/2/6 17:56:56
  • 訪問次數(shù) 30

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維爾克斯光電(www.highlightoptics.com)專業(yè)代理歐美激光器,、光譜儀、光電測試分析儀器和光電元器件,。憑借強力的專業(yè)技術(shù)背景和多年的行業(yè)經(jīng)驗,,維爾克斯能夠滿足客戶不同的應(yīng)用要求,精準地為客戶提供高性價比的解決方案,,并保證設(shè)備及時安裝,、調(diào)試和故障排除。

我們提供自主開發(fā)的:微透鏡陣列,、分束鏡,、工程散射片、螺旋相位片,、結(jié)構(gòu)光模組,、離軸拋物面鏡、掃擺鏡,、中空回射器,、太赫茲透鏡、太赫茲窗口鏡,、分辨率板,、太赫茲鏡頭、激光防護眼鏡,。

以色列Holoor公司衍射光學(xué)元件,,光束整形器、高斯整平頂DOE,、勻光鏡,、勻化器、寬帶散射片,、分束鏡,、多焦點DOE、長焦深DOE,、玻璃切割模組,、定制衍射元件;

德國Holoeye公司結(jié)構(gòu)光DOE,、激光散斑,、隨機點陣、定制衍射元件,;

德國ADLoptica光束整形器,,pishaper光纖激光平頂整形,πshaper激光整形器,;

美國RPC Photonics公司螺旋相位板,、微透鏡陣列,、工程散射片,工程漫射體,,擴散片,;

美國Thorlabs,Edmund離軸拋物面鏡,,微透鏡,,激光防護鏡;

丹麥NILT納米壓印模板,,微加工掩膜,,納米壓印機,硅模板,,石英母版,;

 

美國NOIR激光防護眼鏡,激光防護鏡,,激光護目鏡常用型號:ARG, EC2, YG3, DBD, YG2, FG1, DBY, ND1, YLW,;

德國Laservision激光護目鏡,激光防護鏡,,激光防護玻璃,,激光防護簾;

以色列DUMA公司 Spoton系列激光位置測量儀,,Beamon光斑分析儀,,光束分析儀,激光準直儀, Autocollimator,,內(nèi)調(diào)焦自準直儀,,Alignmeter激光位置角度測量儀;

法國Phaseview公司M2儀,,光束質(zhì)量分析儀,激光輪廓儀,,激光波前測量儀,;

立陶宛Optogama公司紅外熱像儀(可替代7215紅外熱像儀)、紅外相機,、紅外觀察儀,、4lasers鏡片、晶體,、擴束鏡,、人眼安全激光器;

美國Dataray光斑分析儀,,光束分析儀,,M2儀,,紅外光斑分析儀;

白俄羅斯Solar Laser公司SHR波長計,,SHR-IR激光波長計,,低重頻大能量固體激光器;

加拿大Gentec功率計,,能量計,,太赫茲探測器;

     

美國Chroma公司濾光片,、濾光片盒子,、濾光片套裝、FISH濾光片,、窄帶濾光片,、拉曼濾光片;

美國Adnover公司濾光片,,定制濾光片,,超窄帶濾光片;

德國BATOP可飽和吸收鏡,,SESAM,,可飽和吸收耦合輸出鏡,共振可飽和吸收鏡,,可飽和吸收體SA,,太赫茲聚焦鏡,激光芯片,,微芯激光器,;

德國B.Halle公司消色差波片、超寬帶消色差波片,;

美國Innovation Photonics中紅外聚焦鏡,,中紅外隔離器,紅外光纖,,紅外偏振片,,光纖耦合透鏡;

德國Layertec飛秒激光鏡片,,皮秒激光鏡片,、寬帶鏡、啁啾鏡,、GT干涉鏡,;

美國DRO,Design research optics二氧化碳鏡片,ZnSe反射鏡,,硒化鋅透鏡,,CO2合束鏡、CO2分束鏡,;

美國LRO,,Laser Research Optics分光鏡、合束器,、全反射鏡,、部分反射鏡、金屬反射鏡,、輸出耦合鏡,、零相位延遲片、部分相位延遲片,;

德國Femto Fiber公司布拉格光纖光柵,;

 

美國Minusk隔震臺,減震平臺,,精密隔振平臺,,原子力顯微鏡隔振臺;

德國Marzhauser公司(MW)顯微鏡載物臺,,手動顯微鏡平移臺,;

英國PRIOR顯微鏡平臺,顯微鏡載物臺,,顯微鏡電動平臺,,納米電動平臺,自動上片機,,自動對焦系統(tǒng),;

加拿大Zaber電控平移臺,線性致動器,,旋轉(zhuǎn)臺,,真空平移臺,內(nèi)置編碼器和驅(qū)動器的位移臺;

法國Piezoconcept納米平臺,,納米壓電平臺,;

芬蘭Sensapex微操作器,微操作系統(tǒng),;

 

加拿大Sicencetech太陽光模擬器,AA*太陽光模擬器,,光伏測試系統(tǒng),,紅外光譜儀;

美國TTI公司C995光學(xué)斬波器,,光纖脈沖轉(zhuǎn)換器,,模擬信號收發(fā)器,,O/E轉(zhuǎn)換模塊探測器;

美國Phase Photonics紅外光譜儀,,中紅外光譜儀,;

美國Scientech公司精密電子天平,激光功率計,;

 

荷蘭Anteryon CP-332/CP-544激光器,,非球面鏡;

德國Advanced Laser Diode Systems(ALSG)半導(dǎo)體皮秒激光器,,可單模光纖,、單光子輸出;

德國Frankfurt Laser公司各類激光器及激光配件,;

德國Alphalas公司激光器,,可調(diào)諧波片,寬帶可調(diào)波片,,超快探測器UPD,;

美國Photonics Industries公司(PI)納秒激光器,皮秒激光器,,高功率,,高能量;

日本Oxide公司266nm激光器,,波長轉(zhuǎn)換器,,晶體,激光組件,;

立陶宛Eksma,,Ekspla公司光纖激光器,超短脈沖選擇器,,普克爾斯盒,;

 

美國Terasense太赫茲相機,太赫茲源,, THz人體安檢儀,,超快太赫茲探測器;

德國Menlo公司飛秒光纖激光器,,太赫茲時域光譜系統(tǒng),,飛秒激光同步激發(fā)的太赫茲光譜系統(tǒng),光學(xué)頻率合成器,、光梳,;

瑞士Rainbow Photonics太赫茲時域光譜系統(tǒng)(1-14THz),可調(diào)諧太赫茲源,THz有機晶體,;

俄羅斯Tydex公司太赫茲光學(xué)元件,、太赫茲透鏡、太赫茲波片,、TH分光片,、TH濾光片、太赫茲衰減片,、太赫茲衍射鏡片,,Golay Cell 高萊探測器;

西班牙NIT,,德國TrinamiX,,芬蘭Emberion,英國Redwavelabs紅外探測器,。

 

俄羅斯SmarTThermoelectrics半導(dǎo)體制冷片,,單極TEC,多極TEC熱電模塊,;

德國Jutec耐高溫手套,,隔熱手套,熱防護服,;

美國AppliedImage公司圖像測試卡,、ISO 測試卡 、圖像質(zhì)量分析軟件,、Bar Code條形碼校正,;

還代理英國Laser2000,德國Pleiger Laseroptik,,立陶宛Optogama,,美國Precision Laser Scanning等廠家;

 

油脂分析儀,,石油分析儀,,激光眼鏡,光學(xué)配件

供貨周期 一個月 規(guī)格 標準品
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合 主要用途 激光光學(xué)

ArF(193nm),,反射率>97%,、耐酸/氟的193/248/308nm反射鏡

Lambda Research Optics由從事電子光學(xué)業(yè)務(wù)超過25年的專業(yè)人士創(chuàng)立,專注于生產(chǎn)用于從真空紫外到遠紅外整個光學(xué)光譜的光學(xué)元件,。Lambda對光學(xué),、光學(xué)材料和光學(xué)鍍膜具備一定的能力,可為客戶提供研究,、開發(fā)或產(chǎn)品制造所需的光學(xué)元件,。Lambda準分子激光反射鏡 輸出波長193nm

美國Lambda準分子反射鏡分為腔內(nèi)反射鏡(XRM/XOC)和腔外反射鏡(XHR/XPR),,ArF(193nm),、KrF(248nm)XeCl(308nm)準分子激光反射鏡可用于微光刻,、微制造和醫(yī)療設(shè)備等應(yīng)用。氟化氬準分子激光器可產(chǎn)生193nm的短波長輸出,,這對于追求更精細分辨率的微光刻領(lǐng)域非常重要,,此波長下,建議使用氟化鈣或氟化鎂基底作為腔內(nèi)透射光學(xué)元件,。后腔反射鏡(Excimer Cavity Rear Mirrors (XRM))在激光波長下的反射率至少為97%,。另外,用戶可選擇輸出耦合器的反射率,。值得關(guān)注的是,,Lambda高質(zhì)量準分子激光腔鍍膜涂層是專為耐酸/(Acid/Fluorine resistance)而設(shè)計的。

腔外反射鏡(extra-cavity mirrors)用于氟化氬準分子激光器,,它們使用紫外熔融石英襯底,,輸出波長為193nm。在短波長下工作時,,高質(zhì)量的涂層和高的潔凈度至關(guān)重要,,這些反射鏡在正常入射時的非偏振反射率至少為97%,在45°入射時為96%,。部分反射率可由用戶選擇,。


準分子激光反射鏡 Lambda的主要特點:

腔內(nèi)反射鏡和輸出耦合鏡(XRM/XOC)特征:

- 氟化氬準分子激光光學(xué)器件

- 氟化鈣或氟化鎂基底

- 反射率>97%


腔外反射鏡和部分反射鏡(XHR/XPR)特征:

- 腔外轉(zhuǎn)向鏡Extra-Cavity Turning Mirrors

- 正常或45°入射角

- 高反射率或部分反射率


308/248/193nm反射鏡的規(guī)格:

規(guī)格

描述

材質(zhì)Material

XRM/XOC:紫外MgF?/紫外CaF?

XHR/XPR:準分子級熔融石英

表面質(zhì)量

XRM/XOC<20/10

XHR/XPR<10/5

曲率半徑

表面平整度

< λ/10@633 nm

直徑公差

< +0.00/– 0.20 mm

厚度公差

< ±0.25 mm

清晰光圈

 85% of diameter

損傷閾值

>1.2J/cm2, 10 ns

耐用性

符合MIL-C-675標準的附著力和耐磨性要求














Lambda準分子激光反射鏡 輸出波長193nm

93nm準分子反射鏡和輸出耦合鏡XRM/XOC型號參數(shù):

MgF2

CaF2

直徑

厚度 (mm)

運行參數(shù)

腔內(nèi)反射鏡Rear Cavity Mirror

XRM-1203M-193

XRM-1203CU-193

0.50"

3.0

97%

XRM-2003M-193

XRM-2003CU-193

20mm

3.6

97%

XRM-2503M-193

XRM-2503CU-193

1.00"

3.0

97%

XRM-3605M-193

XRM-3605CU-193

36mm

5.5

97%

XRM-3805M-193

XRM-3805CU-193

1.50"

5.5

97%

XRM-5009M-193

XRM-5009CU-193

2.00"

9.5

97%

輸出耦合反射鏡Output Coupler

XOC-1203M-*R-193

XOC-1203CU-*R-193

0.50"

3.0

*

XOC-2003M-*R-193

XOC-2003CU-*R-193

20mm

3.6

*

XOC-2503M-*R-193

XOC-2503CU-*R-193

1.00"

3.0

*

XOC-3605M-*R-193

XOC-3605CU-*R-193

36mm

5.5

*

XOC-3805M-*R-193

XOC-3805CU-*R-193

1.50"

5.5

*

XOC-5009M-*R-193

XOC-5009CU-*R-193

2.00"

9.5

*

* 根據(jù)客戶要求,,可提供任何比例的反射,。


193nm準分子反射鏡XHR/XPR型號參數(shù):

MgF2

直徑(英寸)

厚度(英寸)

運行參數(shù)

0°高反射鏡

XHR-1206U-193-0

0.50

0.250

97%

XHR-1906U-193-0

0.75

0.250

97%

XHR-2506U-193-0

1.00

0.250

97%

XHR-3809U-193-0

1.50

0.375

97%

XHR-5009U-193-0

2.00

0.375

97%

45°高反射鏡

XHR-1206U-193-45

0.50

0.250

96%

XHR-1906U-193-45

0.75

0.250

96%

XHR-2506U-193-45

1.00

0.250

96%

XHR-3809U-193-45

1.50

0.375

96%

XHR-5009U-193-45

2.00

0.375

96%

部分反射鏡

XPR-1206U-*R-193

0.50

0.250

*

XPR-1906U-*R-193

0.75

0.250

*

XPR-2506U-*R-193

1.00

0.250

*

XPR-3809U-*R-193

1.50

0.375

*

XPR-5009U-*R-193

2.00

0.375

*

* 反射百分比和入射角可根據(jù)客戶要求提供

Lambda準分子激光反射鏡 輸出波長193nm



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