1.基片尺寸：200-300mm（8英寸至12英寸）

2.轉(zhuǎn)速范圍：10-6000RPM

3.加速度范圍：10-1000RPM/S,，可調(diào)

4.電機轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1RPM

5.旋涂均勻度：±1%

6.人機界面：8英寸觸摸屏

7.通訊接口：USB（標(biāo)配）/RS485（選配）/藍牙（標(biāo)配）

8.調(diào)轉(zhuǎn)：支持正反轉(zhuǎn)

9.手寫筆：手寫B(tài)AMBOO電阻筆（標(biāo)配）

10.真空泵：SC-550V

11.設(shè)定數(shù)據(jù)：無限組數(shù)據(jù)，每組15個速度（標(biāo)配）或無限速度（選配）

12.每周期秒數(shù)：0-10000s

13.存儲數(shù)據(jù)：無限數(shù)據(jù)

14.數(shù)據(jù)保護：默認帶掉電保護

15. 工作電壓（旋涂機）：AC100-250V,，單相,，50/60Hz

16. 工作電壓（泵）：AC220V（標(biāo)準(zhǔn)）AC110V（可選）

17. 抽氣速度：≥60L/MIN

18. 真空度可達：-85KPA

19. 噪音等級：≤55db

20. 旋涂機功率：2KW

21. 泵功率：350W

22. 尺寸（旋涂機）：550mm（寬）X550mm（深）X350mm（高）

23. 重量（旋涂機）：50KG

24. 重量（泵）：9KG

25. 相對濕度：< 85%

26. 環(huán)境溫度：0-40℃

27. 保修：1 年