SJ6000 高穩(wěn)定性激光干涉儀
| 參考價(jià) | ￥ 280000 |
| 訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 深圳市中圖儀器股份有限公司
- 品牌 CHOTEST/中圖儀器
- 型號 SJ6000
- 產(chǎn)地 學(xué)苑大道1001號南山智園B1棟2樓、5樓
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/1/20 10:28:56
- 訪問次數(shù) 145
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,交通,汽車,電氣,綜合 |
SJ6000高穩(wěn)定性激光干涉儀的測量原理主要包括相位測量和位移測量,。相位測量是通過測量干涉條紋的相位差來計(jì)算被測量物體的形狀、位置等參數(shù),；位移測量是通過測量干涉條紋的位移來確定物體的位移量,。這兩種測量原理在不同應(yīng)用場景下有著各自的優(yōu)勢和適用性,。
SJ6000高穩(wěn)定性激光干涉儀集光、機(jī),、電,、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng),、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,。
產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組、角度鏡組,、直線度鏡組、垂直度鏡組,、平面度鏡組,、自動精密轉(zhuǎn)臺。
主要鏡組圖
其中,，線性鏡組為標(biāo)配,，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
產(chǎn)品功能
（1）可實(shí)現(xiàn)線性,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,；
（2）可檢測數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角、直線度、垂直度等,；
（3）可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn),；
（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；
（5）具有動態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析、速度分析,、加速度分析,、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
（6）支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償,。
SJ6000激光干涉儀非接觸式,、高精度的特點(diǎn)使其適用于各種復(fù)雜的運(yùn)動系統(tǒng)，不僅僅局限于運(yùn)動導(dǎo)軌,，還可以檢測數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角、直線度,、垂直度等,。幫助企業(yè)提高設(shè)備性能，減少維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間,，為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式,。
在機(jī)床領(lǐng)域的應(yīng)用
1.測量機(jī)床導(dǎo)軌的直線度和平行度。
導(dǎo)軌是機(jī)床中的重要零部件,，直線度和平行度的誤差會直接影響機(jī)床的加工精度和穩(wěn)定性,。激光干涉儀可以通過測量導(dǎo)軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差，從而指導(dǎo)后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整,。
2.測量機(jī)床工作臺的平面度和垂直度,。
機(jī)床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量。通過激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋,，可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺的不平整和非垂直狀態(tài),，并及時(shí)進(jìn)行調(diào)整和修正，確保工件的加工精度和穩(wěn)定性,。
3.測量機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度,。
機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機(jī)床加工精度的關(guān)鍵因素,。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋，可以準(zhǔn)確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求,，從而為后續(xù)的機(jī)床調(diào)整和校準(zhǔn)提供依據(jù),。
4.其它
除了上述應(yīng)用，激光干涉儀還可以用于測量機(jī)床各個(gè)部件之間的相對位置和尺寸關(guān)系,，從而檢測和糾正機(jī)床的裝配誤差,。此外，激光干涉儀還可以用于檢測機(jī)床在運(yùn)行過程中的變形和振動情況,，及時(shí)發(fā)現(xiàn)機(jī)床的故障和異常狀態(tài),，保證機(jī)床的穩(wěn)定性和可靠性。
對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償
部分技術(shù)規(guī)格
| 穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
| 動態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
| 預(yù)熱時(shí)間 | ≤ 6分鐘 |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
| 存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
| 環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
| 線性測量距離 | (0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件) |
| 線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度軸向量程 | (0~15)m |
| 角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度軸向量程 | (0~15)m |
| 平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,，單位：μm,；M為測量距離，單位：m) |
| 直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m |
| 直線度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度軸向量程 | 短距離(0.1～3.0)m;長距離(1.0～15.0)m |
| 垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍,，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組
直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解,。
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