主要特點

詳細說明

作為擁有30多年歷史的貴金屬熱電偶行業(yè)先驅(qū)者, BASF已將其溫度測量技術(shù)專長應(yīng)用于光學(xué)溫度測量。 BASF Exactus®紅外溫度傳感器取得了技術(shù)性突破,，在非接觸式溫度測量中表現(xiàn)出了顯著的性能優(yōu)勢,。與其他同類產(chǎn)品相比，其靈敏的電子技術(shù),、精密光學(xué)技術(shù)以及利用短波長測量低溫的能力使得過程控制更加嚴格,、精度更高、整體性能更好.

RTP機臺測溫儀EX-ET-222系BASF Exactus®系列產(chǎn)品在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有許多優(yōu)勢：高度敏感的電子學(xué)和先進的光學(xué)技術(shù)意味著可以用更短波長的探測器來測量輻射能,，這減少了晶圓透射及發(fā)射率造成的誤差,。此外，高速測量和高分辨率確保了控溫和噪聲抑制的優(yōu)異性能,， 由此提供了更好的晶圓溫度監(jiān)控和生產(chǎn)工藝,。

RTP機臺測溫儀EX-ET-222采用900nm左右的傳感器直連光管連接形式結(jié)合多通道IFM10-EC，最多可實現(xiàn)10點實時測量和記錄,，測溫范圍覆蓋250-1300℃,，精度高達1.5℃, 重復(fù)性0.1℃?？蛇m配AMAT的RTP測溫系統(tǒng),。

BASF Exactus®系列紅外測溫設(shè)備已廣泛用于快速退火、快速氧化,、薄膜沉積等半導(dǎo)體工藝,，并被集成在多家MOCVD設(shè)備以及其他RTP設(shè)備上如：AIXTRON， LPE,，Premtek,，AMAT等。另外,，由于其具有很高的測溫精度和穩(wěn)定性,，也被一些高溫黑體爐廠家作為溫度標準器使用，如Thermogauge公司,。

典型應(yīng)用

技術(shù)參數(shù)