雷尼紹超精密測量光柵 超高精度 超小型

VIONiC光柵系列是雷尼紹性能高的增量式光柵,，它可提供直接的數(shù)字位置反饋，具有優(yōu)異的測量性能,，運(yùn)行速度快且可靠性好,。VIONiC讀數(shù)頭集成雷尼紹經(jīng)過市場檢驗的可靠光學(xué)濾波系統(tǒng)和細(xì)分技術(shù)。它具有超低的電子細(xì)分誤差(SDE),、優(yōu)異的抗污能力,，而且無需額外使用適配器或單獨的接口。

此外,，VIONiC讀數(shù)頭可兼容各種直線柵尺,、圓弧柵尺和圓光柵，從低膨脹ZeroMet™柵尺到高精度REXM圓環(huán)光柵,，無一例外,。VIONiC系列光柵因此成為具有多功能性和優(yōu)異測量性能的理想光柵。

VIONiC光柵采用雷尼紹第三代光學(xué)濾波系統(tǒng),，可對多個光柵周期進(jìn)行平均,，有效濾除臟污等引起的非周期性特征,。名義方波光柵條紋也被濾去，以在探測器上留下一個正弦波形,。這里使用的是一個多條紋結(jié)構(gòu),，它非常細(xì)，能夠產(chǎn)生4個對稱相位信號形式的光電流,。這些結(jié)合在一起可免去DC器件,，并可產(chǎn)生具有高光譜純度和低偏置值的正弦和余弦信號輸出，同時保持500 kHz以上的帶寬,。

包括自動增益控制,、自動平衡控制和自動偏置控制在內(nèi)的集成高級動態(tài)信號調(diào)節(jié)組合在一起，確保實現(xiàn)超低電子細(xì)分誤差 (SDE)(通常 < ±15 nm),。

光學(xué)濾波系統(tǒng)的這一改進(jìn)加上精選的優(yōu)質(zhì)電子器件,，大帶寬增量信號可達(dá)到12 m/s的速度，同時也是同類光柵中位置抖動(噪聲)最小的,。讀數(shù)頭內(nèi)置細(xì)分功能，同時利用其他抗噪電子器件進(jìn)一步增強(qiáng)高分辨率型VIONiC的抗噪功能,，從而實現(xiàn)抖動水平僅有1.6 nm RMS,。

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