FPKOR-HEX-PVD 臺式薄膜沉積系統(tǒng)PVD系統(tǒng)
參考價 | ¥800000-¥1000000/件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌孚光精儀
- 型號FPKOR-HEX-PVD
- 所在地上海市
- 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
- 更新時間2024/12/16 10:00:02
- 訪問次數(shù) 124
產(chǎn)品標(biāo)簽
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 80萬-100萬 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
臺式薄膜沉積系統(tǒng)為是模塊化的PVD系統(tǒng),為您的研究和實施應(yīng)用提供了多種沉積選項,??裳b配電子束蒸發(fā)源E-beam,ORCA低溫蒸發(fā)源,熱蒸發(fā)源,磁控濺射等。
臺式薄膜沉積系統(tǒng)是研究和開發(fā)的理想選擇,,因為它具有模塊化的特性,。所有基本元件都可以訪問,允許對各種組件進(jìn)行測試,,并對幾種薄膜沉積技術(shù)中涉及的工藝進(jìn)行探索,,包括:表面分析樣品制備,濺射,,熱蒸發(fā),,有機(jī)物理氣相沉積等
基本型號中支持的方法包括:金屬和光刻膠剝離工藝,EM樣品制備,,新型涂料研發(fā),,磁控濺射沉積*化
用戶可購買基本型號,,在必要時升級到*高級別的組件,這些升級是模塊化的,,安裝簡單,,減少了系統(tǒng)停機(jī)時間和安裝成本。

臺式薄膜沉積系統(tǒng)配有一個80升/秒的泵,,可實現(xiàn)高達(dá)8×10^-7毫巴的基本真空,,并可實現(xiàn)高至100毫米的樣品尺寸。該系統(tǒng)還配有一個多樣品支架,,可同時容納幾個較小的樣品,。
臺式薄膜沉積系統(tǒng)可升級300升/秒的泵,,可實現(xiàn)4×10^-7毫巴的基本真空,。用戶也可以選擇一個較大的HEX-L室,其空間可容納多達(dá)150毫米的樣本,,或多個較小的樣本,。
臺式薄膜沉積系統(tǒng)由一個六面鋁框架高真空室組成,該室重量輕,,但足夠堅固,,適用于大多數(shù)物理氣相沉積應(yīng)用。六邊形結(jié)構(gòu)支撐六塊模塊化面板,,包括:
空白面板,,“視口”面板,沉積源面板,,PLD儀表過程控制面板,,包括質(zhì)量流量控制器和厚度控制,用于現(xiàn)場監(jiān)測的QCM面板
該設(shè)計使用標(biāo)準(zhǔn)化配件,,包括用于氣體和水連接的Hamlet快速接頭,,以及用于樣品臺和部件附件的蝶形螺母。這種標(biāo)準(zhǔn)化使切換面板和根據(jù)特定應(yīng)用調(diào)整系統(tǒng)變得簡單,。模塊化設(shè)計還使維護(hù)和重新配置*快,、*高效。

臺式薄膜沉積系統(tǒng)是研究和開發(fā)的理想選擇,,因為它具有模塊化的特性,。所有基本元件都可以訪問,允許對各種組件進(jìn)行測試,,并對幾種薄膜沉積技術(shù)中涉及的工藝進(jìn)行探索,,包括:表面分析樣品制備,濺射,,熱蒸發(fā),,有機(jī)物理氣相沉積等
基本型號中支持的方法包括:金屬和光刻膠剝離工藝,EM樣品制備,,新型涂料研發(fā),,磁控濺射沉積*化
用戶可購買基本型號,,在必要時升級到*高級別的組件,這些升級是模塊化的,,安裝簡單,,減少了系統(tǒng)停機(jī)時間和安裝成本。

臺式薄膜沉積系統(tǒng)配有一個80升/秒的泵,,可實現(xiàn)高達(dá)8×10^-7毫巴的基本真空,,并可實現(xiàn)高至100毫米的樣品尺寸。該系統(tǒng)還配有一個多樣品支架,,可同時容納幾個較小的樣品,。
臺式薄膜沉積系統(tǒng)可升級300升/秒的泵,,可實現(xiàn)4×10^-7毫巴的基本真空,。用戶也可以選擇一個較大的HEX-L室,其空間可容納多達(dá)150毫米的樣本,,或多個較小的樣本,。
臺式薄膜沉積系統(tǒng)由一個六面鋁框架高真空室組成,該室重量輕,,但足夠堅固,,適用于大多數(shù)物理氣相沉積應(yīng)用。六邊形結(jié)構(gòu)支撐六塊模塊化面板,,包括:
空白面板,,“視口”面板,沉積源面板,,PLD儀表過程控制面板,,包括質(zhì)量流量控制器和厚度控制,用于現(xiàn)場監(jiān)測的QCM面板
該設(shè)計使用標(biāo)準(zhǔn)化配件,,包括用于氣體和水連接的Hamlet快速接頭,,以及用于樣品臺和部件附件的蝶形螺母。這種標(biāo)準(zhǔn)化使切換面板和根據(jù)特定應(yīng)用調(diào)整系統(tǒng)變得簡單,。模塊化設(shè)計還使維護(hù)和重新配置*快,、*高效。
