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SOPHI-400 日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體兼容高能離子注入機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體兼容高能離子注入機(jī)

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體兼容高能離子注入機(jī)


兼容高能離子注入機(jī)SOPHI-400

這是一種高能離子注入機(jī),,可處理高達(dá) 1200keV 的電壓。


中電流離子注入機(jī)IMX-3500是一款最高能量為200kV,、晶圓尺寸最大為8英寸的離子注入機(jī),,非常適合大學(xué)的研發(fā)。


特征

  • 單片式

  • 兼容薄晶圓

  • 平行光束

  • 最大晶圓尺寸為8英寸,,配備可處理不規(guī)則形狀基板的壓板,。

  • 除了氣體源之外,固體蒸發(fā)源也可用于易于安全處理 B,、P 和 As 離子的離子源,。

  • 高壓端子部分與量產(chǎn)設(shè)備配置相同,確保高可靠性,。


目的

  • 功率器件薄基板工藝,、IGBT工藝

規(guī)格

  • 板材尺寸:Max200mm

  • 最大電壓:Max1200 keV

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具體的成交價(jià)格可能因商品參加活動(dòng)等情況發(fā)生變化,,也可能隨著購買數(shù)量不同或所選規(guī)格不同而發(fā)生變化,,如用戶與商家線下達(dá)成協(xié)議,以線下協(xié)議的結(jié)算價(jià)格為準(zhǔn),,如用戶在上完成線上購買,,則最終以訂單結(jié)算頁價(jià)格為準(zhǔn)。


也可能隨著購買數(shù)量不同或所選規(guī)格不同而發(fā)生變化,,最終以訂單結(jié)算頁價(jià)格為準(zhǔn),。



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