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臺(tái)式光刻機(jī)

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臺(tái)式光刻機(jī)

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       江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司2013年9月成立于江蘇江陰,是一家初期以高檔專業(yè)的實(shí)驗(yàn)室儀器開(kāi)發(fā)為目標(biāo)的海歸創(chuàng)業(yè)企業(yè),。2020年8月,,江蘇雷博科儀通過(guò)資源整合,將雷博科儀中發(fā)展起來(lái)的的工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)分拆出來(lái)成立了江蘇雷博微電子設(shè)備有限公司,。兩家公司使用同一品牌 ,,獨(dú)立經(jīng)營(yíng)不同系列產(chǎn)品。公司主營(yíng)高檔實(shí)驗(yàn)室儀器及半導(dǎo)體設(shè)備開(kāi)發(fā)業(yè)務(wù),。公司技術(shù)力量雄厚,,人才濟(jì)濟(jì),憑借雄厚的技術(shù)實(shí)力不斷進(jìn)行新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和創(chuàng)新實(shí)現(xiàn),,在納米薄膜制備類儀器領(lǐng)域取得了顯著的市場(chǎng)地位,。公司生產(chǎn)的高精度高可靠性勻膠機(jī)榮獲江蘇省高新技術(shù)產(chǎn)品,是國(guó)內(nèi)勻膠機(jī)全系列,、多功能,、定制化服務(wù)的供應(yīng)商。
       公司生產(chǎn)和銷售不同領(lǐng)域的高檔科研儀器和工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備:Schwan technology®是我們的納米薄膜制備類設(shè)備品牌,,主要有勻膠機(jī),、顯影機(jī)、烤膠機(jī),、提拉機(jī),、噴膠機(jī)、涂膜機(jī),、狹縫涂布機(jī)等相關(guān)產(chǎn)品,;LEBO science®是我們的工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備品牌,主要有勻膠機(jī),、顯影機(jī),、蝕刻機(jī)、去膠機(jī)、清洗機(jī)等獨(dú)立柜式機(jī)臺(tái)及工業(yè)全自動(dòng)機(jī)臺(tái),。
       公司產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于納米薄膜制備需求的鈣鈦礦薄膜太陽(yáng)能,、有機(jī)光電、MEMS,、聲表、光通訊,、化合物半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝等領(lǐng)域,,具有核心技術(shù)可靠、高性價(jià)比,、定制化服務(wù)的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),。 

       公司目前團(tuán)隊(duì)人數(shù)80多人,業(yè)績(jī)和規(guī)模處于快速擴(kuò)展期,,2013年起年銷售額一直保持快速增長(zhǎng),,目前正準(zhǔn)備二輪融資擴(kuò)產(chǎn)。公司生產(chǎn)廠房設(shè)有裝配潔凈車間及黃光試驗(yàn)區(qū),,其中生產(chǎn)區(qū)域約1500平方米,,辦公及倉(cāng)儲(chǔ)區(qū)域約1000平方米。

勻膠機(jī),,烤膠機(jī),,涂膜機(jī),狹縫涂布機(jī),,紫外清洗機(jī),,電解雙噴儀

  臺(tái)式光刻機(jī)參數(shù):
 
  1.最大曝光面積:160mm*160mm
 
  ⒉.曝光分辨率:1u m(膠厚≤0.5um的正膠)
 
  3.對(duì)準(zhǔn)精度:± 1um(標(biāo)準(zhǔn)晶圓拋光片)
 
  4.光源強(qiáng)度:35mW/cm2
 
  5.曝光波長(zhǎng):LED光源(進(jìn)口燈珠,,壽命>1萬(wàn)小時(shí))
 
  6.曝光方式:定時(shí)(倒計(jì)時(shí)方式)
 
  7.掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)范圍:X:優(yōu)于±5mm;
 
  8.Y:優(yōu)于±5mm;0:優(yōu)于±6°
 
  9.掩模尺寸:7英寸,,樣片規(guī)格:6英寸(晶圓片)
 
  10.數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙
 
  11.掩模樣片分離間隙:6 =O-500um連續(xù)可調(diào)
 
  12.對(duì)準(zhǔn)方式:自動(dòng)對(duì)準(zhǔn),可根據(jù)客戶需求,,增加對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的類型,,累計(jì)不超過(guò)4組
 
  13.自動(dòng)輸片:機(jī)械手自動(dòng)輸片(專用樣片機(jī)械手臂及片叉),含預(yù)對(duì)準(zhǔn)定位功能
 
  14.顯微掃描范圍:Y:± 40mm(數(shù)字設(shè)定)
 
  15.具備正壓氣浮曝光,、硬接觸曝光,、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能CCD+遠(yuǎn)心鏡頭+顯示器對(duì)準(zhǔn),,光學(xué)合像
 
  16.調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)
 
  17.雙物鏡可調(diào)距離范圍:30mm-130mm
 

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