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臺式光刻機

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臺式光刻機

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       江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司2013年9月成立于江蘇江陰,是一家初期以高檔專業(yè)的實驗室儀器開發(fā)為目標的海歸創(chuàng)業(yè)企業(yè),。2020年8月,,江蘇雷博科儀通過資源整合,將雷博科儀中發(fā)展起來的的工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)分拆出來成立了江蘇雷博微電子設(shè)備有限公司,。兩家公司使用同一品牌 ,,獨立經(jīng)營不同系列產(chǎn)品。公司主營高檔實驗室儀器及半導(dǎo)體設(shè)備開發(fā)業(yè)務(wù),。公司技術(shù)力量雄厚,,人才濟濟,憑借雄厚的技術(shù)實力不斷進行新產(chǎn)品開發(fā)和創(chuàng)新實現(xiàn),,在納米薄膜制備類儀器領(lǐng)域取得了顯著的市場地位,。公司生產(chǎn)的高精度高可靠性勻膠機榮獲江蘇省高新技術(shù)產(chǎn)品,是國內(nèi)勻膠機全系列,、多功能,、定制化服務(wù)的供應(yīng)商。
       公司生產(chǎn)和銷售不同領(lǐng)域的高檔科研儀器和工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備:Schwan technology®是我們的納米薄膜制備類設(shè)備品牌,,主要有勻膠機,、顯影機、烤膠機,、提拉機,、噴膠機、涂膜機,、狹縫涂布機等相關(guān)產(chǎn)品,;LEBO science®是我們的工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備品牌,主要有勻膠機,、顯影機,、蝕刻機、去膠機,、清洗機等獨立柜式機臺及工業(yè)全自動機臺,。
       公司產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于納米薄膜制備需求的鈣鈦礦薄膜太陽能、有機光電,、MEMS,、聲表、光通訊,、化合物半導(dǎo)體及先進封裝等領(lǐng)域,,具有核心技術(shù)可靠、高性價比,、定制化服務(wù)的競爭優(yōu)勢,。 

       公司目前團隊人數(shù)80多人,,業(yè)績和規(guī)模處于快速擴展期,2013年起年銷售額一直保持快速增長,,目前正準備二輪融資擴產(chǎn),。公司生產(chǎn)廠房設(shè)有裝配潔凈車間及黃光試驗區(qū),其中生產(chǎn)區(qū)域約1500平方米,,辦公及倉儲區(qū)域約1000平方米,。

勻膠機,烤膠機,,涂膜機,,狹縫涂布機,紫外清洗機,,電解雙噴儀

  臺式光刻機參數(shù):
 
  1.最大曝光面積:160mm*160mm
 
 ?、?曝光分辨率:1u m(膠厚≤0.5um的正膠)
 
  3.對準精度:± 1um(標準晶圓拋光片)
 
  4.光源強度:35mW/cm2
 
  5.曝光波長:LED光源(進口燈珠,壽命>1萬小時)
 
  6.曝光方式:定時(倒計時方式)
 
  7.掩模樣片相對運動范圍:X:優(yōu)于±5mm;
 
  8.Y:優(yōu)于±5mm;0:優(yōu)于±6°
 
  9.掩模尺寸:7英寸,,樣片規(guī)格:6英寸(晶圓片)
 
  10.數(shù)字設(shè)定對準間隙和曝光間隙
 
  11.掩模樣片分離間隙:6 =O-500um連續(xù)可調(diào)
 
  12.對準方式:自動對準,可根據(jù)客戶需求,,增加對準標記的類型,,累計不超過4組
 
  13.自動輸片:機械手自動輸片(專用樣片機械手臂及片叉),含預(yù)對準定位功能
 
  14.顯微掃描范圍:Y:± 40mm(數(shù)字設(shè)定)
 
  15.具備正壓氣浮曝光,、硬接觸曝光,、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能CCD+遠心鏡頭+顯示器對準,,光學(xué)合像
 
  16.調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
 
  17.雙物鏡可調(diào)距離范圍:30mm-130mm
 

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