KLA探針式臺階儀P-7產品描述

P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,，適用于生產和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度,、粗糙度,、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接,。

P-7建立在P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎之上,。 它保持了P-17技術的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了很好的性價比,。 P-7可以對臺階高度,、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,，其掃描可達150mm而無需圖像拼接,。

KLA探針式臺階儀P-7主要功能

•       臺階高度：幾納米至1000μm

•       微力恒力控制：0.03至50mg

•       樣品全直徑掃描，無需圖像拼接

•       視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機

•       圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

•       軟件：簡單易用的軟件界面

•       生產能力：通過測序,，模式識別和SECS / GEM實現全自動化

主要應用

•       臺階高度：2D和3D臺階高度

•       紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

•       形狀：2D和3D翹曲和形狀

•       應力：2D和3D薄膜應力

•       缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應用

•       大學,、研究實驗室和研究所

•       半導體和化合物半導體

•       LED：發(fā)光二極管

•       太陽能

•       MEMS：微機電系統(tǒng)

•       數據存儲

•       汽車

•       醫(yī)療設備