CF4氣體分析儀GASERA ONE 概述

GASERA ONE多氣體分析儀基于激光光聲光譜技術(shù)，擁有探測器和光源,，廣泛應(yīng)用于科研,、工業(yè)和其他領(lǐng)域；其中探測器是超高靈敏度的增強型懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)技術(shù),。

CF4氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造,、環(huán)境監(jiān)測及工業(yè)安全等領(lǐng)域。光聲光譜技術(shù)通過檢測氣體吸收光能后產(chǎn)生的聲信號,，實現(xiàn)高靈敏度,、高穩(wěn)定性的CF4濃度測量。

CF4氣體分析儀GASERA ONE-解決方案

通過選擇最佳的光源類型,，GASERA ONE適合多種應(yīng)用需求,；

對于更復(fù)雜的測量方案，幾個GASERA ONE可聯(lián)用為應(yīng)用提供一個簡單解決方案,。

CF4氣體分析儀GASERA ONE-操作

GASERA ONE為用戶提供了一個簡單而直觀的高分辨率顯示器和控制按鈕,。此外，用戶可以通過智能手機,，平板電腦或其它設(shè)備控制GASERA ONE,。

CF4氣體分析儀GASERA ONE-技術(shù)

工作原理：激光光聲光譜

超靈敏MEMS懸臂梁傳感器光學(xué)麥克風(fēng),，耦合激光干涉儀測量懸臂梁微量位移

根據(jù)應(yīng)用需求配置光源，如靈敏度和氣體成分種類

合適的光源包括可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器(TDL),，量子級,，聯(lián)激光器(QCL)，外腔式量子級聯(lián)激光器(EC-QCL),，帶間級聯(lián)激光器,，(ICL)，光學(xué)參量振蕩器 (OPO),，帶濾光片的寬帶紅外光源(NDIR)

氣室恒定溫度50℃

CF4氣體分析儀GASERA ONE-通用

19”3 U工業(yè)機箱,，適用于全部臺式或機架固定安裝

尺寸：48.4cm W x 13.9cm H x 44cm D(19.1 In W x 5.5 in H x 17.3 in D)

重量：約13kg

內(nèi)置7”前置顯示器的嵌入式計算機

數(shù)據(jù)存儲容量足夠至少1年的連續(xù)監(jiān)測

總采氣量：10～30ml

后面板有四路氣體接口，兩路為采樣接口,，配有粉塵顆粒物過濾器

供電：

輸入電壓：100～240VAC,，50～60 Hz

輸入功率：100～200 W（根據(jù)具體要求而定）

通訊接口：Ethernet、USB

GASERA ONE可以通過智能手機,，平板電腦,筆記本 電腦或另一個GASERA ONE來操作

CF4氣體分析儀GASERA ONE-環(huán)境

工作條件:

溫度范圍：0℃～ + 40℃

濕度：低于90%RH,無凝露

壓力范圍：大氣壓

防護等級：IP20(IEC 529)

儲存條件：

溫度范圍：-20℃～ + 60℃

采樣條件：

溫度：0～ + 49℃

濕度：無凝露

氣體流量：約1L/min

壓力：930mbar～1100mbar

微粒< 1μm

CF4氣體分析儀GASERA ONE-檢測參數(shù)

響應(yīng)時間：根據(jù)通道積分時間(C.I.T.)和氣體 置換周期,，典型從5秒到幾分鐘

檢測限：0.1ppb

動態(tài)量程：典型5級(100,000倍檢測限)

重復(fù)性：小于1%的測量值，在工作條件標準濃 度下

準確度：取決于校準濃度標準氣體的精度,，典型2～5 %

溫度穩(wěn)定性：在溫度工作范圍內(nèi)無影響

壓力穩(wěn)定性：在壓力工作范圍內(nèi)無影響