瑞士VAT真空閘板閥在中國的合作供貨商

VAT是一家在真空閥門領(lǐng)域處于絕對位置的瑞士公司，VAT自1964年成立以來,，在真空閥門技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了專業(yè)化的運(yùn)作,。因其強(qiáng)大的研發(fā)創(chuàng)新和業(yè)界聞名的高品質(zhì)，世界各半導(dǎo)體芯片設(shè)備,、太陽能設(shè)備制造廠商,、大學(xué)和科研機(jī)構(gòu)大量采用了VAT公司的產(chǎn)品,，其生產(chǎn)的閥門在真空產(chǎn)生和研究系統(tǒng)中都是業(yè)界的標(biāo)準(zhǔn)組件。

VAT閥門主要運(yùn)用在：半導(dǎo)體加工,，玻璃或鍍膜設(shè)備,，高能物理（科研），同步加速器（科研）,，激光技術(shù),，空間模擬，冶金,，表面分析等行業(yè),。產(chǎn)品包括：插板閥、蝶閥,、傳送閥,、隔膜閥、角閥等,，是高靈敏度和高可靠性的控制真空閥,。

產(chǎn)品服務(wù)：

瑞士VAT閥門、閘閥,、鐘擺閥,、控制閥、角閥,、隔膜閥,、連接部件、多閥門模塊,、加熱器、鍍膜

品牌介紹：

VAT真空閥門公司是一家活躍于市場的瑞士公司,，是真空閥門開發(fā),、制造和銷售的公司。產(chǎn)品廣泛用于半導(dǎo)體,、鍍膜行業(yè)和研發(fā),、平板顯示器制造，玻璃和工具鍍膜,，冶金,，表面分析，高能物理學(xué),，同步加速器,，激光技術(shù)和太空旅行模擬等領(lǐng)域。

主要型號：

010系列,、012系列,、081系列,、091系列、108系列,、110系列,、121系列、140系列,、150系列,、152系列、162系列,、168系列,、640系列、641系列,、650系列,、652系列、022系列,、032系列,、043系列、075系列,、076系列,、066系列、211系列,、214系列,、216系列、245系列,、264系列,、471系列、773系列,、790系列,、790系列

瑞上VAT部分產(chǎn)品介紹

1.VAT閘閥

具有模塊化執(zhí)行機(jī)構(gòu)概念的VAT緊湊型迷你超高壓閘閥非常適合I業(yè)和研發(fā)應(yīng)用。它通常用于半導(dǎo)體工藝系統(tǒng)的管道中,。插入版本

以集成到真空系統(tǒng)中(無閥體),，更高的密封材料(Chemraz, EPDM等)， 帶有VITON制成的密封件,，可更換,，特殊的閥門澆口，適

合安裝各種孔板,。

2.VAT蝶閥

VAT蝶閥是下游應(yīng)用的蝶形壓力控制閥,。帶有非常快速且堅(jiān)固的執(zhí)行器，高性能,，集成控制器,，具備極短的控制響應(yīng)時(shí)間和位置指I

示，自動(dòng)維護(hù)指示,，出色的抗污染能力,。該閥”的控制器可確保非常快速和準(zhǔn)確的壓力控制,。通過操作L EARN功能,，在啟動(dòng)時(shí)只

需要執(zhí)行一次，即可自動(dòng)確定系統(tǒng)參數(shù),。由于采用了自適應(yīng)算法,，因此控制器可以連續(xù)適應(yīng)過程條件(氣體種類，氣體流量),，從而

確保隨時(shí)進(jìn)行最佳壓力控制,。

B.VAT轉(zhuǎn)換閥

VAT轉(zhuǎn)換閥用于200.300和450毫米晶圓的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和處理室隔離。雙作用氣動(dòng)執(zhí)行器,，主體材質(zhì)為鋁,，不銹

鋼，波紋管受保護(hù),，使用壽命長,，大于500萬次循環(huán)的預(yù)期壽命，公稱內(nèi)徑32x222到56x496毫米,。

4.VAT角閥

VAT角閥適用于大多數(shù)腐蝕性氣體,，除氣率極低。當(dāng)排氣速率極低時(shí),，對于特高壓系統(tǒng)的泵送和排氣很重要,。耐高壓差，固定式可

旋轉(zhuǎn)CF法蘭,，在最高溫度80°C下可以進(jìn)行300萬次循環(huán),，主體材質(zhì)不銹鋼，執(zhí)行器類型分為手動(dòng)執(zhí)行器(手輪),，氣動(dòng)執(zhí)行器(單閉

孔，帶有閉合彈簧NC),。

5.VAT軟啟動(dòng)閥

VAT軟啟動(dòng)閥由兩半節(jié)流閥瓣組成,，它們支撐在一條公共軸 上，并通過彈簧保持在打開位置,。軸保持在ISO KF對中環(huán)中,，該對中環(huán)

形成為帶有閥座的主體。將它們安裝在兩個(gè)SO-KF法蘭(而不是定心環(huán)之間時(shí),，必須將打開的閥對準(zhǔn)真空管路中的氣流,。當(dāng)粗加

工系統(tǒng)投入運(yùn)行時(shí),，在粗加工管線中會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)氣流，該氣流會(huì)立即關(guān)閉閥門,，并使管段減少約99%,。當(dāng)達(dá)到約2%的壓差時(shí)，在

15mbar時(shí),，閥]打開并幾乎毫5阻礙地離開管道,，以進(jìn)行進(jìn)步泵送。

瑞士VAT真空閘板閥在中國的合作供貨商