小型化設(shè)計(jì)：結(jié)構(gòu)緊湊，主機(jī)尺寸為 300mm（寬）×450mm（深）×450mm（高）,，占用空間小,，方便在實(shí)驗(yàn)室等空間有限的環(huán)境中使用。

內(nèi)置隔振機(jī)構(gòu)：采用浮動(dòng)結(jié)構(gòu),，能有效抑制振動(dòng),，確保光刻過(guò)程的精度和穩(wěn)定性，無(wú)需額外配備復(fù)雜的隔振臺(tái),，降低了對(duì)使用環(huán)境的要求,。

內(nèi)置真空吸油泵：真空吸附功能可以牢固地固定工作臺(tái)上的基片或樣品，防止在光刻過(guò)程中發(fā)生位移,，保證曝光的準(zhǔn)確性,。

低使用成本：相比一些大型的光刻設(shè)備，該設(shè)備在能源消耗,、維護(hù)成本等方面具有優(yōu)勢(shì),，并且不需要使用冷卻液體和壓縮氣體等額外的輔助設(shè)備，降低了使用成本和設(shè)備運(yùn)行的復(fù)雜性,。

用戶(hù)友好型接口：操作軟件界面簡(jiǎn)潔直觀,，易于上手，方便用戶(hù)進(jìn)行操作和參數(shù)設(shè)置,，即使是非專(zhuān)業(yè)的光刻技術(shù)人員也能快速掌握設(shè)備的使用方法,。

簡(jiǎn)易流程：光刻操作流程簡(jiǎn)單，用戶(hù)只需將設(shè)計(jì)好的圖形導(dǎo)入軟件,，選擇相應(yīng)的曝光參數(shù),，即可進(jìn)行光刻操作，大大提高了工作效率,。

支持對(duì)準(zhǔn)和曝光條件檢查：對(duì)于一些對(duì)對(duì)準(zhǔn)精度要求較高的光刻工藝,，該設(shè)備能夠提供準(zhǔn)確的對(duì)準(zhǔn)功能，確保圖形的準(zhǔn)確曝光。同時(shí),，用戶(hù)可以在軟件中檢查曝光條件,，以便及時(shí)調(diào)整參數(shù)，保證光刻效果12,。

曝光光源：采用 365nm（典型值）的 LED 光源,，具有較高的能量穩(wěn)定性和較長(zhǎng)的使用壽命，能夠滿(mǎn)足多種光刻膠的曝光需求,。

線(xiàn)寬精度：在使用不同物鏡的情況下,，可實(shí)現(xiàn)不同的最小線(xiàn)寬。例如,，在使用 ×10 物鏡時(shí),，最小線(xiàn)寬可達(dá) 3μm；使用 ×2 物鏡時(shí),，最小線(xiàn)寬為 15μm,，能夠滿(mǎn)足微納結(jié)構(gòu)制作的精度要求。

曝光面積：?jiǎn)未纹毓饷娣e根據(jù)物鏡的不同有所差異,，如使用 ×10 物鏡時(shí),，單次曝光面積為 1mm×0.6mm；使用 ×2 物鏡時(shí),，單次曝光面積為 5mm×3mm,。最大曝光區(qū)域?yàn)?25mm×25mm（手動(dòng)或自動(dòng)連接），對(duì)于一些小型的芯片,、微流控器件等的制作具有較好的適用性。

兼容文檔格式：可接受的文檔格式豐富,，包括 dxf,、jpeg、png,、bitmap,、xps 等，方便用戶(hù)導(dǎo)入各種設(shè)計(jì)圖形,。