森泰克刻蝕機Etchlab 200
- 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
- 品牌 SENTECH
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/10/10 14:28:52
- 訪問次數(shù) 378
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顯微鏡,,激光共聚焦,電鏡,,x射線,,激光捕獲顯微切割,熒光成像系統(tǒng),,DNA/RNA合成儀,,半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備,生命科學儀器,,光刻機,,
森泰克刻蝕機Etchlab 200 是一款高性能的等離子刻蝕設(shè)備,由德國Sentech公司研發(fā)生產(chǎn),。該產(chǎn)品結(jié)合了RIE平行板等離子體源設(shè)計與直接置片的成本效益設(shè)計,具有多種優(yōu)勢和特點,,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、微納加工、材料科學等領(lǐng)域,。以下是對Etchlab 200產(chǎn)品的詳細介紹:
一,、產(chǎn)品特點
模塊化設(shè)計: 采用模塊化設(shè)計,可根據(jù)用戶需求進行靈活配置和升級,。其真空系統(tǒng),、真空鎖和供氣系統(tǒng)均可按需求進行擴展,以適應(yīng)不同的工藝需求,。
高精度與靈活性:該設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的微細結(jié)構(gòu)制造和加工,,同時其設(shè)計靈活,操作簡便,。用戶可以通過簡單的操作實現(xiàn)樣品的快速加載和刻蝕處理,。
成本效益森泰克刻蝕機Etchlab 200 結(jié)合了RIE平行板電極設(shè)計的優(yōu)點和直接置片的成本效益設(shè)計,使得設(shè)備在保持高性能的同時,,也具有較高的性價比,。
用戶友好:設(shè)備配備了SENTECH控制軟件,該軟件功能強大且用戶友好,,具有模擬圖形用戶界面,、參數(shù)窗口、工藝編輯窗口,、數(shù)據(jù)記錄和用戶管理等功能,,方便用戶進行工藝設(shè)置和監(jiān)控,。
二、技術(shù)規(guī)格
樣品加載:Etchlab 200具有簡單快速的樣品加載功能,,支持從零件到直徑為200mm或300mm的晶圓片直接加載到電極或載片器上,。
設(shè)計特點:設(shè)備設(shè)計靈活、模塊化且占地面積小,。頂部電極和反應(yīng)腔體設(shè)有診斷窗口,,可方便地容納SENTECH激光干涉儀或OES和RGA系統(tǒng)。橢偏儀端口可用于SENTECH原位橢偏儀進行原位監(jiān)測,。
應(yīng)用范圍:Etchlab 200可配置用于刻蝕多種材料,,包括但不限于硅和硅化合物、復(fù)合半導(dǎo)體,、介質(zhì)和金屬等,。
三、應(yīng)用領(lǐng)域
Etchlab 200等離子刻蝕機在多個領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用,,包括但不限于:
半導(dǎo)體制造:用于微納加工,、芯片制造等過程中的刻蝕工藝。
微納加工:在微機電系統(tǒng)(MEMS),、微光學器件等領(lǐng)域中,,用于制造高精度的微細結(jié)構(gòu)。
材料科學:在材料表面改性,、薄膜制備等領(lǐng)域中,,用于實現(xiàn)材料的精細加工和改性處理。
四,、售后服務(wù)
森泰克刻蝕機提供完善的售后服務(wù),,包括安裝調(diào)試現(xiàn)場免費培訓、電話支持響應(yīng)等,。具體服務(wù)內(nèi)容可能因銷售商或代理商而異,,請用戶在購買前咨詢相關(guān)服務(wù)細節(jié)。
綜上所述,,Etchlab 200是一款高性能,、高精度、靈活且成本效益高的等離子刻蝕設(shè)備,,在半導(dǎo)體,、微納加工、材料科學等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景,。