普羅泰克PROTER檢驗測量設(shè)備數(shù)字式測量機

普羅泰克PROTER檢驗測量設(shè)備數(shù)字式測量機

主要標準特性

TDS-7060G是在面像處理自動測定機成為主流的情況下,，拋棄了繁雜的功能，作為重視符合使用者意愿的操作性的測定機逛生的,。

必要且充分的測定模式群,。操作方便的開關(guān)，粗微動手柄,。測定デ-タ-がそのまま利用できる乜ミ才一卜機能,。容易配合的靶材(電子線)。具有高精度和可靠性,，主體軸承采用精密石定盤使用的天然石等,，具有與高級機器不相上下的精度和再現(xiàn)性,，具有自動機無法得到的操作性。

,。觸摸面板照明和聚焦系統(tǒng)·集合了變焦控制,、預(yù)設(shè)位置移動等操作。照明也可以與倍率連動,。

,，大型尺寸的測定物にも對志外形寸法1000mm角厚さ40tまでのサイズに対。定范圍也可測定X方向700nm,、Y方向600mm的寬范圍,。可輕松應(yīng)對曲面掩模和大型基板

C

提作系統(tǒng)有完善的配置

朋·光學(xué)系·定位通過觸摸面板操作進行簡單操作,。各軸的移動可通過同服電機和閥同服單元進行0.2pn的定位,。此外，租動作和微動作可通過同軸手枘進行無疲勞感操作,，數(shù)據(jù)輸入開關(guān)也可在手上操作,，無需離開手。另外,，電腦畫面上面像顯示部顯示多功能電子線,，雙圓、井,、十字線的

破腺·可進行實塊切換,、腺寬股定、顏色定,、角度定,。

·內(nèi)藏同軸落射3種具有高度依賴性的照明·環(huán)式反射器標準配備3種追式透通LED照明系統(tǒng)。通過組合,，將各種被攝體鮮明地表現(xiàn)出來,。